中国有色金属学报
中國有色金屬學報
중국유색금속학보
THE CHINESE JOURNAL OF NONFERROUS METALS
2015年
3期
740-746
,共7页
沈岩柏%张宝庆%曹先敏%魏德洲%刘文刚%高淑玲
瀋巖柏%張寶慶%曹先敏%魏德洲%劉文剛%高淑玲
침암백%장보경%조선민%위덕주%류문강%고숙령
三氧化钨%薄膜%基片温度%二氧化氮%气体传感器
三氧化鎢%薄膜%基片溫度%二氧化氮%氣體傳感器
삼양화오%박막%기편온도%이양화담%기체전감기
tungsten oxide%thin film%substrate temperature%nitrogen dioxide%gas sensor
采用直流反应磁控溅射法,在不同的基片温度条件下制备出具有不同微观结构的WO3薄膜,探讨这些薄膜作为气敏材料对NO2气体的气敏特性.WO3薄膜的晶体结构、表面及断面形貌分别采用X射线衍射和扫描电子显微镜进行表征.结果表明:随着基片温度的升高,具有单斜晶WO3结构薄膜的(200)衍射峰强度逐渐增强,薄膜由低基片温度(-75℃)的纳米粉体、过渡到中间基片温度(-50～300℃)的纳米薄膜、直至高基片温度(500℃)的纳米棒组成.所有WO3薄膜均在200℃的工作温度下获得对NO2气体的最大灵敏度.在相同的检测条件下,气体灵敏度随着基片温度的减小和NO2气体浓度(体积分数)的增加而增大.
採用直流反應磁控濺射法,在不同的基片溫度條件下製備齣具有不同微觀結構的WO3薄膜,探討這些薄膜作為氣敏材料對NO2氣體的氣敏特性.WO3薄膜的晶體結構、錶麵及斷麵形貌分彆採用X射線衍射和掃描電子顯微鏡進行錶徵.結果錶明:隨著基片溫度的升高,具有單斜晶WO3結構薄膜的(200)衍射峰彊度逐漸增彊,薄膜由低基片溫度(-75℃)的納米粉體、過渡到中間基片溫度(-50～300℃)的納米薄膜、直至高基片溫度(500℃)的納米棒組成.所有WO3薄膜均在200℃的工作溫度下穫得對NO2氣體的最大靈敏度.在相同的檢測條件下,氣體靈敏度隨著基片溫度的減小和NO2氣體濃度(體積分數)的增加而增大.
채용직류반응자공천사법,재불동적기편온도조건하제비출구유불동미관결구적WO3박막,탐토저사박막작위기민재료대NO2기체적기민특성.WO3박막적정체결구、표면급단면형모분별채용X사선연사화소묘전자현미경진행표정.결과표명:수착기편온도적승고,구유단사정WO3결구박막적(200)연사봉강도축점증강,박막유저기편온도(-75℃)적납미분체、과도도중간기편온도(-50～300℃)적납미박막、직지고기편온도(500℃)적납미봉조성.소유WO3박막균재200℃적공작온도하획득대NO2기체적최대령민도.재상동적검측조건하,기체령민도수착기편온도적감소화NO2기체농도(체적분수)적증가이증대.
