机电工程
機電工程
궤전공정
MECHANICAL & ELECTRICAL ENGINEERING MAGAZINE
2015年
5期
579-584
,共6页
文东辉%周海锋%徐钉%朴钟宇
文東輝%週海鋒%徐釘%樸鐘宇
문동휘%주해봉%서정%박종우
研究进展%超光滑表面%非接触式抛光%表面粗糙度%亚表面损伤
研究進展%超光滑錶麵%非接觸式拋光%錶麵粗糙度%亞錶麵損傷
연구진전%초광활표면%비접촉식포광%표면조조도%아표면손상
research progress%ultra-smooth surface%non-contact polishing%roughness%sub-surface damage
针对如何高效稳定地获得粗糙度值小、少无亚表面损伤、低成本的超光滑表面的问题,分析了原子级超光滑表面加工技术的加工原理,详细阐述了几类非接触式抛光方法的加工原理及国内外最新研究进展,并着重论述了声悬浮抛光和磨料水射流抛光的研究现状.接着,在此基础上对这几类加工方法各方面的优缺点进行了对比总结.最后,针对目前超光滑表面加工技术存在的不足,指出了超光滑表面加工技术有待进一步研究的方向.研究结果表明,采用非接触式的抛光方法,对加工过程加以合理的控制,可大大降低工件表面粗糙度,改善亚表面的损伤情况;目前非接触式抛光普遍对抛光设备精度要求较高,减少加工成本是超光滑表面加工技术进行大规模推广的迫切要求.
針對如何高效穩定地穫得粗糙度值小、少無亞錶麵損傷、低成本的超光滑錶麵的問題,分析瞭原子級超光滑錶麵加工技術的加工原理,詳細闡述瞭幾類非接觸式拋光方法的加工原理及國內外最新研究進展,併著重論述瞭聲懸浮拋光和磨料水射流拋光的研究現狀.接著,在此基礎上對這幾類加工方法各方麵的優缺點進行瞭對比總結.最後,針對目前超光滑錶麵加工技術存在的不足,指齣瞭超光滑錶麵加工技術有待進一步研究的方嚮.研究結果錶明,採用非接觸式的拋光方法,對加工過程加以閤理的控製,可大大降低工件錶麵粗糙度,改善亞錶麵的損傷情況;目前非接觸式拋光普遍對拋光設備精度要求較高,減少加工成本是超光滑錶麵加工技術進行大規模推廣的迫切要求.
침대여하고효은정지획득조조도치소、소무아표면손상、저성본적초광활표면적문제,분석료원자급초광활표면가공기술적가공원리,상세천술료궤류비접촉식포광방법적가공원리급국내외최신연구진전,병착중논술료성현부포광화마료수사류포광적연구현상.접착,재차기출상대저궤류가공방법각방면적우결점진행료대비총결.최후,침대목전초광활표면가공기술존재적불족,지출료초광활표면가공기술유대진일보연구적방향.연구결과표명,채용비접촉식적포광방법,대가공과정가이합리적공제,가대대강저공건표면조조도,개선아표면적손상정황;목전비접촉식포광보편대포광설비정도요구교고,감소가공성본시초광활표면가공기술진행대규모추엄적박절요구.
