仪表技术与传感器
儀錶技術與傳感器
의표기술여전감기
INSTRUMENT TECHNIQUE AND SENSOR
2015年
5期
11-13,41
,共4页
余建平%张玉良%周兆忠
餘建平%張玉良%週兆忠
여건평%장옥량%주조충
压力传感器%电容传感器%三维%浮动电极
壓力傳感器%電容傳感器%三維%浮動電極
압력전감기%전용전감기%삼유%부동전겁
tactile pressure sensor%capacitive sensor%three-dimensional%floating electrodes
提出了一种能够同时实现z－向压力与x－y向剪切力测量的新型三维柔性电容触觉传感阵列，采用浮动电极式的传感阵列结构设计，分别制作了基于FPCB的感应电极层和基于PDMS的浮动电极层，将脆弱的接口电路加工在底部的感应电极层上，大幅提高传感阵列的挠曲刚度。所设计的柔性电容触觉传感阵列在x－y和z－方向上的理论灵敏度分别为1．0％／mN和0．8％／mN。
提齣瞭一種能夠同時實現z－嚮壓力與x－y嚮剪切力測量的新型三維柔性電容觸覺傳感陣列，採用浮動電極式的傳感陣列結構設計，分彆製作瞭基于FPCB的感應電極層和基于PDMS的浮動電極層，將脆弱的接口電路加工在底部的感應電極層上，大幅提高傳感陣列的撓麯剛度。所設計的柔性電容觸覺傳感陣列在x－y和z－方嚮上的理論靈敏度分彆為1．0％／mN和0．8％／mN。
제출료일충능구동시실현z－향압력여x－y향전절력측량적신형삼유유성전용촉각전감진렬，채용부동전겁식적전감진렬결구설계，분별제작료기우FPCB적감응전겁층화기우PDMS적부동전겁층，장취약적접구전로가공재저부적감응전겁층상，대폭제고전감진렬적뇨곡강도。소설계적유성전용촉각전감진렬재x－y화z－방향상적이론령민도분별위1．0％／mN화0．8％／mN。
A three-dimensional flexible capacitive tactile sensing array which can measure the z direction pressure and x-y di-rection shear stress was proposed.Each capacitive sensing element consisted of a FPCB-based ( flexible printed circuit board) sensing electrodes layer and a PDMS-based ( poly dimethyl siloxane) floating electrode layer.The fragile interconnect for signal scanning were implemented on the FPCB,which effectively enhanced the device flexible rigidity.The estimated sensitivities of the unit sensor are 1.0%/mN and 0.8%/mN for the x-y axes and z-axes respectively.
