空军工程大学学报（自然科学版）
空軍工程大學學報（自然科學版）
공군공정대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF AIR FORCE ENGINEERING UNIVERSITY (NATURAL SCIENCE EDITION)
2015年
2期
10-14
,共5页
林敏%徐浩军%魏小龙%梁华%苏晨
林敏%徐浩軍%魏小龍%樑華%囌晨
림민%서호군%위소룡%량화%소신
射频电感耦合等离子体%等离子体隐身%发射光谱%电子激发温度%电子密度
射頻電感耦閤等離子體%等離子體隱身%髮射光譜%電子激髮溫度%電子密度
사빈전감우합등리자체%등리자체은신%발사광보%전자격발온도%전자밀도
inductively coupled plasma%plasma stealth%emission spectrum%electron excitation temperature%electron density
设计了一种闭式等离子体发生装置,采用射频电感耦合方式,以氩气为工作气体,在封闭式腔体低气压环境下进行放电实验.利用发射光谱法,测量了密闭腔体侧面方向的Ar谱线数据,研究了等离子体电子激发温度和电子密度随空间位置的分布规律以及不同射频功率对电子激发温度和电子密度的影响.等离子体中电子激发温度的变化通过玻尔兹曼斜率法进行分析,电子密度的变化则通过分析Ar原子750.4 nm谱线强度变化获得.实验结果表明,该发生装置能够产生均匀持续的等离子体层,等离子体中电子激发温度约为9 500 K.等离子体电子密度和电子激发温度随着输入射频功率的增加而增大,但变化幅度在减弱;当足够的输入功率时,等离子体层参数随位置的变化幅度较小.
設計瞭一種閉式等離子體髮生裝置,採用射頻電感耦閤方式,以氬氣為工作氣體,在封閉式腔體低氣壓環境下進行放電實驗.利用髮射光譜法,測量瞭密閉腔體側麵方嚮的Ar譜線數據,研究瞭等離子體電子激髮溫度和電子密度隨空間位置的分佈規律以及不同射頻功率對電子激髮溫度和電子密度的影響.等離子體中電子激髮溫度的變化通過玻爾玆曼斜率法進行分析,電子密度的變化則通過分析Ar原子750.4 nm譜線彊度變化穫得.實驗結果錶明,該髮生裝置能夠產生均勻持續的等離子體層,等離子體中電子激髮溫度約為9 500 K.等離子體電子密度和電子激髮溫度隨著輸入射頻功率的增加而增大,但變化幅度在減弱;噹足夠的輸入功率時,等離子體層參數隨位置的變化幅度較小.
설계료일충폐식등리자체발생장치,채용사빈전감우합방식,이아기위공작기체,재봉폐식강체저기압배경하진행방전실험.이용발사광보법,측량료밀폐강체측면방향적Ar보선수거,연구료등리자체전자격발온도화전자밀도수공간위치적분포규률이급불동사빈공솔대전자격발온도화전자밀도적영향.등리자체중전자격발온도적변화통과파이자만사솔법진행분석,전자밀도적변화칙통과분석Ar원자750.4 nm보선강도변화획득.실험결과표명,해발생장치능구산생균균지속적등리자체층,등리자체중전자격발온도약위9 500 K.등리자체전자밀도화전자격발온도수착수입사빈공솔적증가이증대,단변화폭도재감약;당족구적수입공솔시,등리자체층삼수수위치적변화폭도교소.
