重庆理工大学学报（自然科学版）
重慶理工大學學報（自然科學版）
중경리공대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF CHONGQING INSTITUTE OF TECHNOLOGY
2015年
5期
33-40
,共8页
ZnO%柔性衬底%透明导电薄膜%制备方法
ZnO%柔性襯底%透明導電薄膜%製備方法
ZnO%유성츤저%투명도전박막%제비방법
ZnO%flexible substrate%transparent conductive films%preparation techniques
在柔性衬底上制备的 ZnO 基透明导电薄膜具有优异的光电性能，已引起广泛关注并成为当前的研究热点。综述了近年来国内外在柔性 ZnO 基透明导电薄膜方面的研究进展，介绍了不同制备方法及工艺参数对柔性 ZnO 透明导电薄膜结构及光电性能的影响，并对当前存在的问题及未来工作进行了分析。
在柔性襯底上製備的 ZnO 基透明導電薄膜具有優異的光電性能，已引起廣汎關註併成為噹前的研究熱點。綜述瞭近年來國內外在柔性 ZnO 基透明導電薄膜方麵的研究進展，介紹瞭不同製備方法及工藝參數對柔性 ZnO 透明導電薄膜結構及光電性能的影響，併對噹前存在的問題及未來工作進行瞭分析。
재유성츤저상제비적 ZnO 기투명도전박막구유우이적광전성능，이인기엄범관주병성위당전적연구열점。종술료근년래국내외재유성 ZnO 기투명도전박막방면적연구진전，개소료불동제비방법급공예삼수대유성 ZnO 투명도전박막결구급광전성능적영향，병대당전존재적문제급미래공작진행료분석。
ZnO thin films deposited on flexible substrate become a focus research owing to their out-standing electrical and optical properties. Electrical and optical performances of flexible ZnO-based thin films prepared by different fabricate methods and various processing parameters in recent years were reviewed. At the same time,the existing problems for the flexible ZnO-based thin films and the future works were also discussed.
