振动、测试与诊断
振動、測試與診斷
진동、측시여진단
JOURNAL OF VIBRATION, MEASUREMENT & DIAGNOSIS
2015年
2期
388-393
,共6页
王寅%孙梦馨%黄卫清%刘伟华
王寅%孫夢馨%黃衛清%劉偉華
왕인%손몽형%황위청%류위화
压电电机%步进%叠层压电堆%交替作动
壓電電機%步進%疊層壓電堆%交替作動
압전전궤%보진%첩층압전퇴%교체작동
@@
大行程和高精度是半导体加工、光波导封装等现代精密制造领域对作动器提出的新要求,在传统作动器中这两个特性往往相互矛盾从而难以同时具备.为获得满足这一要求的作动器,基于叠层压电堆器件的特点提出了一种新型步进压电直线电机的原理,详细分析了它的作动机理,该原理方案具有较大的作动行程和较高的步进分辨率,同时其输出推力与预压力成正比,有望获得较大的推力和自锁力.在原理分析的基础上,设计了电机的结构方案并加工了样机,讨论了该电机对装配的特殊要求并对样机的装配进行了验证试验,样机作动试验结果验证了该原理方案的可行性,并且在直流偏置50 V、峰峰值为100 V、频率10 Hz的正弦电压激励下,样机的平均速度达63.3 μm/s,这与理论计算的相对偏差为6.9％.
大行程和高精度是半導體加工、光波導封裝等現代精密製造領域對作動器提齣的新要求,在傳統作動器中這兩箇特性往往相互矛盾從而難以同時具備.為穫得滿足這一要求的作動器,基于疊層壓電堆器件的特點提齣瞭一種新型步進壓電直線電機的原理,詳細分析瞭它的作動機理,該原理方案具有較大的作動行程和較高的步進分辨率,同時其輸齣推力與預壓力成正比,有望穫得較大的推力和自鎖力.在原理分析的基礎上,設計瞭電機的結構方案併加工瞭樣機,討論瞭該電機對裝配的特殊要求併對樣機的裝配進行瞭驗證試驗,樣機作動試驗結果驗證瞭該原理方案的可行性,併且在直流偏置50 V、峰峰值為100 V、頻率10 Hz的正絃電壓激勵下,樣機的平均速度達63.3 μm/s,這與理論計算的相對偏差為6.9％.
대행정화고정도시반도체가공、광파도봉장등현대정밀제조영역대작동기제출적신요구,재전통작동기중저량개특성왕왕상호모순종이난이동시구비.위획득만족저일요구적작동기,기우첩층압전퇴기건적특점제출료일충신형보진압전직선전궤적원리,상세분석료타적작동궤리,해원리방안구유교대적작동행정화교고적보진분변솔,동시기수출추력여예압력성정비,유망획득교대적추력화자쇄력.재원리분석적기출상,설계료전궤적결구방안병가공료양궤,토론료해전궤대장배적특수요구병대양궤적장배진행료험증시험,양궤작동시험결과험증료해원리방안적가행성,병차재직류편치50 V、봉봉치위100 V、빈솔10 Hz적정현전압격려하,양궤적평균속도체63.3 μm/s,저여이론계산적상대편차위6.9％.
