应用光学
應用光學
응용광학
JOURNAL OF APPLIED OPTICS
2015年
3期
448-453
,共6页
薄膜光学%微流路%数字光刻投影系统%聚二甲基硅氧烷%荷叶效应%毛细吸附效应
薄膜光學%微流路%數字光刻投影繫統%聚二甲基硅氧烷%荷葉效應%毛細吸附效應
박막광학%미류로%수자광각투영계통%취이갑기규양완%하협효응%모세흡부효응
film optics%micro-channel%digital lithography projection system%polydimethylsiloxane%lotus effect%capillary adsorption effect
设计一种经济有效的微流体芯片加工方法,可以快速地在聚二甲基硅氧烷(PDMS)表面加工出不同尺寸的微流路.利用商用数字投影仪的成像原理,对其进行简单的改装,得到成缩小像的数字光刻投影系统(DLPS),并利用该系统在PDMS表面加工微流路;同时通过荷叶效应和毛细吸附效应两组实验,对DLPS的加工性能进行了验证和应用.该DLPS可在PDMS表面加工微结构,最小稳定加工精度可达40μm,通过模仿荷叶效应获得的材料表面,其疏水角增加到123°±3°.该DLPS系统可用于快速加工微流体芯片,当流路尺寸要求不是很严格时,低成本和高效率等优点使该系统完全适合在普通实验室开展微流体技术的研究.
設計一種經濟有效的微流體芯片加工方法,可以快速地在聚二甲基硅氧烷(PDMS)錶麵加工齣不同呎吋的微流路.利用商用數字投影儀的成像原理,對其進行簡單的改裝,得到成縮小像的數字光刻投影繫統(DLPS),併利用該繫統在PDMS錶麵加工微流路;同時通過荷葉效應和毛細吸附效應兩組實驗,對DLPS的加工性能進行瞭驗證和應用.該DLPS可在PDMS錶麵加工微結構,最小穩定加工精度可達40μm,通過模倣荷葉效應穫得的材料錶麵,其疏水角增加到123°±3°.該DLPS繫統可用于快速加工微流體芯片,噹流路呎吋要求不是很嚴格時,低成本和高效率等優點使該繫統完全適閤在普通實驗室開展微流體技術的研究.
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