光学仪器
光學儀器
광학의기
OPTICAL INSTRUMENTS
2015年
2期
95-99
,共5页
扫描测量%直线度%三测头法%倾角补偿
掃描測量%直線度%三測頭法%傾角補償
소묘측량%직선도%삼측두법%경각보상
scanning measurement%straightness%three-probe method%tilt compensation
基于多测头光学扫描法对导轨直线度的在位测量方法,提出一种新的倾角补偿的三测头扫描方法.介绍了测量原理,推导了基于最小二乘法的直线度形状重构方法,重构出的形状可精确反映直线度误差的高频成分,且对测量噪声有良好抑制能力.对算法进行了仿真验证,并由实验验证了提出方法的有效性.实验结果表明,该方法可以精确地还原出台阶状的直线度形状,测量标准偏差在10μm以内.
基于多測頭光學掃描法對導軌直線度的在位測量方法,提齣一種新的傾角補償的三測頭掃描方法.介紹瞭測量原理,推導瞭基于最小二乘法的直線度形狀重構方法,重構齣的形狀可精確反映直線度誤差的高頻成分,且對測量譟聲有良好抑製能力.對算法進行瞭倣真驗證,併由實驗驗證瞭提齣方法的有效性.實驗結果錶明,該方法可以精確地還原齣檯階狀的直線度形狀,測量標準偏差在10μm以內.
기우다측두광학소묘법대도궤직선도적재위측량방법,제출일충신적경각보상적삼측두소묘방법.개소료측량원리,추도료기우최소이승법적직선도형상중구방법,중구출적형상가정학반영직선도오차적고빈성분,차대측량조성유량호억제능력.대산법진행료방진험증,병유실험험증료제출방법적유효성.실험결과표명,해방법가이정학지환원출태계상적직선도형상,측량표준편차재10μm이내.
