现代应用物理
現代應用物理
현대응용물리
Modern Applie Physics
2015年
1期
37-41
,共5页
刘军%刘金良%陈亮%张忠兵%刘林月
劉軍%劉金良%陳亮%張忠兵%劉林月
류군%류금량%진량%장충병%류림월
集成光学%脊形波导%散射损耗%粗糙度
集成光學%脊形波導%散射損耗%粗糙度
집성광학%척형파도%산사손모%조조도
基于条形波导传统数学模型和等效折射率方法,建立了SOI (silicon-on-insulator)脊形波导散射损耗的数学模型,重点讨论了侧壁粗糙度与几何结构对波导散射损耗系数的影响.研究表明:侧壁粗糙度是引起散射损耗的主要因素;波导几何结构对散射损耗的影响主要由波导宽度决定;对于给定刻蚀深度,损耗随波导宽度增大而减小;对于给定波导宽度,损耗随刻蚀深度增大而增大.
基于條形波導傳統數學模型和等效摺射率方法,建立瞭SOI (silicon-on-insulator)脊形波導散射損耗的數學模型,重點討論瞭側壁粗糙度與幾何結構對波導散射損耗繫數的影響.研究錶明:側壁粗糙度是引起散射損耗的主要因素;波導幾何結構對散射損耗的影響主要由波導寬度決定;對于給定刻蝕深度,損耗隨波導寬度增大而減小;對于給定波導寬度,損耗隨刻蝕深度增大而增大.
기우조형파도전통수학모형화등효절사솔방법,건립료SOI (silicon-on-insulator)척형파도산사손모적수학모형,중점토론료측벽조조도여궤하결구대파도산사손모계수적영향.연구표명:측벽조조도시인기산사손모적주요인소;파도궤하결구대산사손모적영향주요유파도관도결정;대우급정각식심도,손모수파도관도증대이감소;대우급정파도관도,손모수각식심도증대이증대.
