湖北工业大学学报
湖北工業大學學報
호북공업대학학보
JOURNAL OF HUBEI UNIVERSITY OF TECHNOLOGY
2015年
2期
28-30
,共3页
薄膜互连线%加速寿命试验%电迁移
薄膜互連線%加速壽命試驗%電遷移
박막호련선%가속수명시험%전천이
为了探究Au互连线的形状参数对互连线寿命的影响,在环境温度为150℃、加载电流为500 mA的试验条件下,使用恒温箱同时对多种不同形状的样品进行加速寿命试验.结果表明:在此试验条件下,不同形状参数的互连线的失效模式相同,且皆为电迁移导致互连线出现断路;互连线与电极连接处的圆弧半径越大,电迁移导致的失效现象出现的越晚,对应的薄膜互连线的寿命也越长.
為瞭探究Au互連線的形狀參數對互連線壽命的影響,在環境溫度為150℃、加載電流為500 mA的試驗條件下,使用恆溫箱同時對多種不同形狀的樣品進行加速壽命試驗.結果錶明:在此試驗條件下,不同形狀參數的互連線的失效模式相同,且皆為電遷移導緻互連線齣現斷路;互連線與電極連接處的圓弧半徑越大,電遷移導緻的失效現象齣現的越晚,對應的薄膜互連線的壽命也越長.
위료탐구Au호련선적형상삼수대호련선수명적영향,재배경온도위150℃、가재전류위500 mA적시험조건하,사용항온상동시대다충불동형상적양품진행가속수명시험.결과표명:재차시험조건하,불동형상삼수적호련선적실효모식상동,차개위전천이도치호련선출현단로;호련선여전겁련접처적원호반경월대,전천이도치적실효현상출현적월만,대응적박막호련선적수명야월장.
