时代农机
時代農機
시대농궤
Hunan Agricultural Machinery
2014年
1期
77-78,82
,共3页
AZO透明导电膜%射频磁控溅射%透光率%方阻
AZO透明導電膜%射頻磁控濺射%透光率%方阻
AZO투명도전막%사빈자공천사%투광솔%방조
文章采用射频磁控溅射法在普通玻璃基片上制备AZO透明导电薄膜.用紫外-可见分光光度计和四探针测量了不同氩氧比和工作压强下制取样品的光学和电学性能.结果表明,所制备的AZO薄膜在可见光范围内的平均透过率约为80％;薄膜的电阻率随着工作压强的变化呈现一定的变化规律,得到的薄膜最低方块电阻约为290Ω/□.
文章採用射頻磁控濺射法在普通玻璃基片上製備AZO透明導電薄膜.用紫外-可見分光光度計和四探針測量瞭不同氬氧比和工作壓彊下製取樣品的光學和電學性能.結果錶明,所製備的AZO薄膜在可見光範圍內的平均透過率約為80％;薄膜的電阻率隨著工作壓彊的變化呈現一定的變化規律,得到的薄膜最低方塊電阻約為290Ω/□.
문장채용사빈자공천사법재보통파리기편상제비AZO투명도전박막.용자외-가견분광광도계화사탐침측량료불동아양비화공작압강하제취양품적광학화전학성능.결과표명,소제비적AZO박막재가견광범위내적평균투과솔약위80％;박막적전조솔수착공작압강적변화정현일정적변화규률,득도적박막최저방괴전조약위290Ω/□.
