导航定位与授时
導航定位與授時
도항정위여수시
Navigation Positioning and Timing
2015年
3期
96-101
,共6页
夏春晓%盛洁%杨军%郭中洋
夏春曉%盛潔%楊軍%郭中洋
하춘효%성길%양군%곽중양
微机电系统%深硅刻蚀%侧壁垂直度%刻蚀均匀性
微機電繫統%深硅刻蝕%側壁垂直度%刻蝕均勻性
미궤전계통%심규각식%측벽수직도%각식균균성
增大敏感结构厚度是提高微机电陀螺性能的一个途径.对大厚度敏感结构,在刻蚀过程中易出现“长草”、“缩口”和“屋檐”等典型缺陷,同时刻蚀后侧壁垂直度、刻蚀均匀性较差,严重影响其尺寸精度.研究了刻蚀/钝化比、刻蚀阶段钝化气体通入时间和反应气体流量等工艺参数对刻蚀形貌的影响,提出了一种分步刻蚀的方法,获得了侧壁垂直度89.95.与片内均匀性3.4％的刻蚀结果.
增大敏感結構厚度是提高微機電陀螺性能的一箇途徑.對大厚度敏感結構,在刻蝕過程中易齣現“長草”、“縮口”和“屋簷”等典型缺陷,同時刻蝕後側壁垂直度、刻蝕均勻性較差,嚴重影響其呎吋精度.研究瞭刻蝕/鈍化比、刻蝕階段鈍化氣體通入時間和反應氣體流量等工藝參數對刻蝕形貌的影響,提齣瞭一種分步刻蝕的方法,穫得瞭側壁垂直度89.95.與片內均勻性3.4％的刻蝕結果.
증대민감결구후도시제고미궤전타라성능적일개도경.대대후도민감결구,재각식과정중역출현“장초”、“축구”화“옥첨”등전형결함,동시각식후측벽수직도、각식균균성교차,엄중영향기척촌정도.연구료각식/둔화비、각식계단둔화기체통입시간화반응기체류량등공예삼수대각식형모적영향,제출료일충분보각식적방법,획득료측벽수직도89.95.여편내균균성3.4％적각식결과.
