化工管理
化工管理
화공관리
CHEMICAL INDUSTRY MANAGEMENT
2015年
16期
158-158
,共1页
多晶硅在生产过程中会产生SiCl4(STC)，而SiCl4会对导致环境破坏。利用氢化将SiCl4转化为SiHCl3(缩写为TCS)，可以使SiCl4得到有效的利用，降低环境污染。
多晶硅在生產過程中會產生SiCl4(STC)，而SiCl4會對導緻環境破壞。利用氫化將SiCl4轉化為SiHCl3(縮寫為TCS)，可以使SiCl4得到有效的利用，降低環境汙染。
다정규재생산과정중회산생SiCl4(STC)，이SiCl4회대도치배경파배。이용경화장SiCl4전화위SiHCl3(축사위TCS)，가이사SiCl4득도유효적이용，강저배경오염。
