科技创新导报
科技創新導報
과기창신도보
SCIENCE AND TECHNOLOGY CONSULTING HERALD
2015年
15期
4-5
,共2页
高升谦%傅刚%刘志宇%王笑天
高升謙%傅剛%劉誌宇%王笑天
고승겸%부강%류지우%왕소천
MEMS%均热板%悬臂梁%微弹簧%微加热器
MEMS%均熱闆%懸臂樑%微彈簧%微加熱器
MEMS%균열판%현비량%미탄황%미가열기
利用硅基MEMS工艺，通过背面分步刻蚀工艺湿法刻蚀<100>晶向硅片，结合SiO2薄膜热氧化工艺、磁控溅射薄膜制备工艺、光刻工艺、lift-off工艺，制备了一种自带均热板的微弹簧式悬臂梁微加热器。L型悬臂梁结构比直线型结构应力分布均匀。标定了微加热器的R-T曲线、I-V曲线。微加热器在工作电压为2.3V时，加热电阻值为60.96Ω，功耗为86.72mV，可获得673K的工作温度。
利用硅基MEMS工藝，通過揹麵分步刻蝕工藝濕法刻蝕<100>晶嚮硅片，結閤SiO2薄膜熱氧化工藝、磁控濺射薄膜製備工藝、光刻工藝、lift-off工藝，製備瞭一種自帶均熱闆的微彈簧式懸臂樑微加熱器。L型懸臂樑結構比直線型結構應力分佈均勻。標定瞭微加熱器的R-T麯線、I-V麯線。微加熱器在工作電壓為2.3V時，加熱電阻值為60.96Ω，功耗為86.72mV，可穫得673K的工作溫度。
이용규기MEMS공예，통과배면분보각식공예습법각식<100>정향규편，결합SiO2박막열양화공예、자공천사박막제비공예、광각공예、lift-off공예，제비료일충자대균열판적미탄황식현비량미가열기。L형현비량결구비직선형결구응력분포균균。표정료미가열기적R-T곡선、I-V곡선。미가열기재공작전압위2.3V시，가열전조치위60.96Ω，공모위86.72mV，가획득673K적공작온도。
