物理通报
物理通報
물리통보
PHYSICS BULLETIN
2015年
7期
79-82
,共4页
高惠平%田建军%蒋俊华%毛艳丽
高惠平%田建軍%蔣俊華%毛豔麗
고혜평%전건군%장준화%모염려
研究型实验%等离子体化学气相沉积%硅薄膜
研究型實驗%等離子體化學氣相沉積%硅薄膜
연구형실험%등리자체화학기상침적%규박막
research type experiment%plasma enhanced chemical vapor deposition%Si thin film
研究型实验是培养大学生创新意识、创新能力和科学研究素养的重要教学内容。以等离子体增强化学气相沉积（PECVD）技术制备硅基薄膜为例，详细介绍了开展研究型实验教学的实施方法，分析和讨论了此研究型实验对培养学生理论联系实践能力、创新能力和科学研究能力的作用。
研究型實驗是培養大學生創新意識、創新能力和科學研究素養的重要教學內容。以等離子體增彊化學氣相沉積（PECVD）技術製備硅基薄膜為例，詳細介紹瞭開展研究型實驗教學的實施方法，分析和討論瞭此研究型實驗對培養學生理論聯繫實踐能力、創新能力和科學研究能力的作用。
연구형실험시배양대학생창신의식、창신능력화과학연구소양적중요교학내용。이등리자체증강화학기상침적（PECVD）기술제비규기박막위례，상세개소료개전연구형실험교학적실시방법，분석화토론료차연구형실험대배양학생이론련계실천능력、창신능력화과학연구능력적작용。
Research type experiment teaching is an important way to cultivate students innovation consciousness ,innovation ability and scientific research quality .Taking the experiment of “prepare silicon thin film by plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) technique” for exam ple , this paper discussed how to carry out a research oriented experiment .The effect on training students'theory with practical ability ,innovation ability and scientific research ability was analyzed and discussed .
