传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2015年
5期
85-87,91
,共4页
冯佳%李佩玥%徐立松%尹志生%隋永新
馮佳%李珮玥%徐立鬆%尹誌生%隋永新
풍가%리패모%서립송%윤지생%수영신
电容位移传感器%调幅%交流激励%检波电路
電容位移傳感器%調幅%交流激勵%檢波電路
전용위이전감기%조폭%교류격려%검파전로
capacitive displacement sensor%AM%AC excitation%detecting circuit
针对调幅式电容位移传感器乘法器检波存在的速度慢、功耗大和热噪声大问题,设计了一种基于模拟开关的全波检波电路.首先,对开关全波检波和开关半波检波原理进行分析,根据分析结果选择了全波检波方法.在此基础上,完成开关全波检波电路设计与测量系统其它部分设计.最后,利用八位半数字表3458A对检波电路与测量系统性能指标进行测试.测试结果表明:检波电路可以实现0.1mV的分辨率,测量系统在150 ～650 μm范围内分辨率达30 nm,系统示值稳定性0.1mV/30 min,电容测量系统最大测量偏差为20 nm.该测量系统满足电容测微系统稳定性好、准确性高的要求.
針對調幅式電容位移傳感器乘法器檢波存在的速度慢、功耗大和熱譟聲大問題,設計瞭一種基于模擬開關的全波檢波電路.首先,對開關全波檢波和開關半波檢波原理進行分析,根據分析結果選擇瞭全波檢波方法.在此基礎上,完成開關全波檢波電路設計與測量繫統其它部分設計.最後,利用八位半數字錶3458A對檢波電路與測量繫統性能指標進行測試.測試結果錶明:檢波電路可以實現0.1mV的分辨率,測量繫統在150 ～650 μm範圍內分辨率達30 nm,繫統示值穩定性0.1mV/30 min,電容測量繫統最大測量偏差為20 nm.該測量繫統滿足電容測微繫統穩定性好、準確性高的要求.
침대조폭식전용위이전감기승법기검파존재적속도만、공모대화열조성대문제,설계료일충기우모의개관적전파검파전로.수선,대개관전파검파화개관반파검파원리진행분석,근거분석결과선택료전파검파방법.재차기출상,완성개관전파검파전로설계여측량계통기타부분설계.최후,이용팔위반수자표3458A대검파전로여측량계통성능지표진행측시.측시결과표명:검파전로가이실현0.1mV적분변솔,측량계통재150 ～650 μm범위내분변솔체30 nm,계통시치은정성0.1mV/30 min,전용측량계통최대측량편차위20 nm.해측량계통만족전용측미계통은정성호、준학성고적요구.
