真空电子技术
真空電子技術
진공전자기술
VACUUM ELECTRONICS
2015年
2期
77-81
,共5页
小型真空探测器%外置动静态真空测试系统%动态真空%静态真空
小型真空探測器%外置動靜態真空測試繫統%動態真空%靜態真空
소형진공탐측기%외치동정태진공측시계통%동태진공%정태진공
Small-sized vacuum detector%External dynamic and static vacuum test system%Dynamic vacuum%Static vacuum
为解决小型真空探测器体积小、内部空间有限、常规真空监测装置无法安装在探测器上进行直接测量的问题,设计一种外置动静态真空测试系统,并建立外置测试系统测量数据与小型真空探测器腔体内真空度的可靠关系.测试实例验证表明:本工作建立的外置动静态真空测试系统,按设计方式推算的探测器动静态真空度值与实际测量值的差异不到10％,可以较好地实现小型真空探测器的动态真空测试和静态真空监测.
為解決小型真空探測器體積小、內部空間有限、常規真空鑑測裝置無法安裝在探測器上進行直接測量的問題,設計一種外置動靜態真空測試繫統,併建立外置測試繫統測量數據與小型真空探測器腔體內真空度的可靠關繫.測試實例驗證錶明:本工作建立的外置動靜態真空測試繫統,按設計方式推算的探測器動靜態真空度值與實際測量值的差異不到10％,可以較好地實現小型真空探測器的動態真空測試和靜態真空鑑測.
위해결소형진공탐측기체적소、내부공간유한、상규진공감측장치무법안장재탐측기상진행직접측량적문제,설계일충외치동정태진공측시계통,병건립외치측시계통측량수거여소형진공탐측기강체내진공도적가고관계.측시실례험증표명:본공작건립적외치동정태진공측시계통,안설계방식추산적탐측기동정태진공도치여실제측량치적차이불도10％,가이교호지실현소형진공탐측기적동태진공측시화정태진공감측.
