强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2015年
6期
222-228
,共7页
叶世蔚%杨平%王振忠%张艳婷%彭云峰
葉世蔚%楊平%王振忠%張豔婷%彭雲峰
협세위%양평%왕진충%장염정%팽운봉
轮廓测量%两段面形拼接%工件运动量%工件运动误差
輪廓測量%兩段麵形拼接%工件運動量%工件運動誤差
륜곽측량%량단면형병접%공건운동량%공건운동오차
profile measuring%stitching of two segments%workpiece motion%motion error
针对磨削阶段大口径光学非球面元件拼接测量精度不高的问题,提出一种基于两段拼接的优化算法.首先根据多体系统运动学理论、斜率差值及逆推法建立两段面形轮廓的拼接数学模型;其次针对拼接算法中工件运动量和运动误差对拼接精度的影响,仿真分析了350 mm非球面工件的两段拼接.仿真结果表明,随着平移误差增大,拼接误差明显增大,而当控制旋转角度在86以内、平移量在10 mm以内、旋转误差在60′以下及平移误差在3μm以下时,拼接误差的标准偏差值在0.2 μm波动;最后利用Taylor Hobson轮廓仪和高精度辅助测量夹具对120 mm口径的非球面光学元件进行测量实验并研究工件运动量对拼接测量精度的影响.实验结果表明,当控制平移量在10 mm以内和旋转角度在8°以下时,拼接误差的标准偏差值在0.2～0.6 μm之间,能满足磨削阶段光学元件亚μm级精度的面形检测要求.
針對磨削階段大口徑光學非毬麵元件拼接測量精度不高的問題,提齣一種基于兩段拼接的優化算法.首先根據多體繫統運動學理論、斜率差值及逆推法建立兩段麵形輪廓的拼接數學模型;其次針對拼接算法中工件運動量和運動誤差對拼接精度的影響,倣真分析瞭350 mm非毬麵工件的兩段拼接.倣真結果錶明,隨著平移誤差增大,拼接誤差明顯增大,而噹控製鏇轉角度在86以內、平移量在10 mm以內、鏇轉誤差在60′以下及平移誤差在3μm以下時,拼接誤差的標準偏差值在0.2 μm波動;最後利用Taylor Hobson輪廓儀和高精度輔助測量夾具對120 mm口徑的非毬麵光學元件進行測量實驗併研究工件運動量對拼接測量精度的影響.實驗結果錶明,噹控製平移量在10 mm以內和鏇轉角度在8°以下時,拼接誤差的標準偏差值在0.2～0.6 μm之間,能滿足磨削階段光學元件亞μm級精度的麵形檢測要求.
침대마삭계단대구경광학비구면원건병접측량정도불고적문제,제출일충기우량단병접적우화산법.수선근거다체계통운동학이론、사솔차치급역추법건립량단면형륜곽적병접수학모형;기차침대병접산법중공건운동량화운동오차대병접정도적영향,방진분석료350 mm비구면공건적량단병접.방진결과표명,수착평이오차증대,병접오차명현증대,이당공제선전각도재86이내、평이량재10 mm이내、선전오차재60′이하급평이오차재3μm이하시,병접오차적표준편차치재0.2 μm파동;최후이용Taylor Hobson륜곽의화고정도보조측량협구대120 mm구경적비구면광학원건진행측량실험병연구공건운동량대병접측량정도적영향.실험결과표명,당공제평이량재10 mm이내화선전각도재8°이하시,병접오차적표준편차치재0.2～0.6 μm지간,능만족마삭계단광학원건아μm급정도적면형검측요구.
