强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2015年
6期
171-176
,共6页
赵世杰%谢瑞清%廖德锋%陈贤华%王健
趙世傑%謝瑞清%廖德鋒%陳賢華%王健
조세걸%사서청%료덕봉%진현화%왕건
Nd∶YAG晶体%板条%透射波前%光学加工%抛光
Nd∶YAG晶體%闆條%透射波前%光學加工%拋光
Nd∶YAG정체%판조%투사파전%광학가공%포광
Nd∶YAG crystal%slab%transmitted wavefront%optical processing%polishing
针对高平均功率固体激光器对Nd∶YAG晶体板条的技术需求,进行了Nd∶YAG晶体板条低透射波前误差加工技术研究.详细分析了光学加工过程中引起板条端面透射波前畸变的误差来源,并提出工艺技术解决方案.实验结果表明,在板条抛光阶段通过采用合成盘硬抛光工艺以及新的工件装夹技术,能够解决传统板条加工工艺在面形及楔角精度方面可控性差的问题,更容易实现Nd∶YAG晶体板条的低透射波前误差加工.对于150 mm×30 mm×2.5 mm规格的Nd∶YAG晶体板条元件,端面透射波前畸变PV值达到0.74λ.
針對高平均功率固體激光器對Nd∶YAG晶體闆條的技術需求,進行瞭Nd∶YAG晶體闆條低透射波前誤差加工技術研究.詳細分析瞭光學加工過程中引起闆條耑麵透射波前畸變的誤差來源,併提齣工藝技術解決方案.實驗結果錶明,在闆條拋光階段通過採用閤成盤硬拋光工藝以及新的工件裝夾技術,能夠解決傳統闆條加工工藝在麵形及楔角精度方麵可控性差的問題,更容易實現Nd∶YAG晶體闆條的低透射波前誤差加工.對于150 mm×30 mm×2.5 mm規格的Nd∶YAG晶體闆條元件,耑麵透射波前畸變PV值達到0.74λ.
침대고평균공솔고체격광기대Nd∶YAG정체판조적기술수구,진행료Nd∶YAG정체판조저투사파전오차가공기술연구.상세분석료광학가공과정중인기판조단면투사파전기변적오차래원,병제출공예기술해결방안.실험결과표명,재판조포광계단통과채용합성반경포광공예이급신적공건장협기술,능구해결전통판조가공공예재면형급설각정도방면가공성차적문제,경용역실현Nd∶YAG정체판조적저투사파전오차가공.대우150 mm×30 mm×2.5 mm규격적Nd∶YAG정체판조원건,단면투사파전기변PV치체도0.74λ.
