强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2015年
6期
18-23
,共6页
HF酸腐蚀%K9基板%损伤阈值%超声波%粗糙度
HF痠腐蝕%K9基闆%損傷閾值%超聲波%粗糙度
HF산부식%K9기판%손상역치%초성파%조조도
HF acid etching%K9 substrate%damage threshold%ultrasonic%roughness
针对K9玻璃基板的HF酸化学腐蚀工艺开展研究,标定了40％和2％高低两种体积分数的HF酸的腐蚀速率;分析了基板表面形貌随腐蚀深度的变化规律;研究了腐蚀时间、HF酸体积分数、超声波工艺对激光损伤阈值的影响,提出了能够有效减少损伤敏感的氟硅盐沉淀、提高损伤阈值的优化腐蚀清洗工艺流程.采用优化的腐蚀清洗工艺流程进行了实验验证,结果表明用体积分数为2％的HF酸在高温和超声波条件下腐蚀90 s后,测得1064 nm波长激光作用下K9基板抗激光损伤阈值提高了75％.
針對K9玻璃基闆的HF痠化學腐蝕工藝開展研究,標定瞭40％和2％高低兩種體積分數的HF痠的腐蝕速率;分析瞭基闆錶麵形貌隨腐蝕深度的變化規律;研究瞭腐蝕時間、HF痠體積分數、超聲波工藝對激光損傷閾值的影響,提齣瞭能夠有效減少損傷敏感的氟硅鹽沉澱、提高損傷閾值的優化腐蝕清洗工藝流程.採用優化的腐蝕清洗工藝流程進行瞭實驗驗證,結果錶明用體積分數為2％的HF痠在高溫和超聲波條件下腐蝕90 s後,測得1064 nm波長激光作用下K9基闆抗激光損傷閾值提高瞭75％.
침대K9파리기판적HF산화학부식공예개전연구,표정료40％화2％고저량충체적분수적HF산적부식속솔;분석료기판표면형모수부식심도적변화규률;연구료부식시간、HF산체적분수、초성파공예대격광손상역치적영향,제출료능구유효감소손상민감적불규염침정、제고손상역치적우화부식청세공예류정.채용우화적부식청세공예류정진행료실험험증,결과표명용체적분수위2％적HF산재고온화초성파조건하부식90 s후,측득1064 nm파장격광작용하K9기판항격광손상역치제고료75％.
