遥测遥控
遙測遙控
요측요공
JOURNAL OF TELEMETRY,TRACKING, AND COMMAND
2015年
3期
54-61
,共8页
高阳%陈艳%李庆丰%杨贵玉
高暘%陳豔%李慶豐%楊貴玉
고양%진염%리경봉%양귀옥
石英MEMS加速度计%窄带宽%梳齿电容%有限元分析
石英MEMS加速度計%窄帶寬%梳齒電容%有限元分析
석영MEMS가속도계%착대관%소치전용%유한원분석
Quartz MEMS accelerometer%Narrow bandwidth%Comb capacitor%Finite element analysis
为满足对振动环境下1OHz以下低频小量程加速度信号的高精度测量需求,设计一种具有窄带宽特点的新型石英MEMS加速度计敏感元件.敏感元件采用变间距式差分电容梳齿结构,基于石英微工艺制作.采用有限元分析手段,对敏感元件质量块尺寸、梳齿长度、梁刚度、止挡与盖板结构等参数进行综合优化设计.仿真结果显示,敏感元件带宽8.9Hz,止挡与盖板结构可以有效提升抗过载及振动能力,设计可以满足飞行器振动环境下小量程低频加速度参数测量需求.
為滿足對振動環境下1OHz以下低頻小量程加速度信號的高精度測量需求,設計一種具有窄帶寬特點的新型石英MEMS加速度計敏感元件.敏感元件採用變間距式差分電容梳齒結構,基于石英微工藝製作.採用有限元分析手段,對敏感元件質量塊呎吋、梳齒長度、樑剛度、止擋與蓋闆結構等參數進行綜閤優化設計.倣真結果顯示,敏感元件帶寬8.9Hz,止擋與蓋闆結構可以有效提升抗過載及振動能力,設計可以滿足飛行器振動環境下小量程低頻加速度參數測量需求.
위만족대진동배경하1OHz이하저빈소량정가속도신호적고정도측량수구,설계일충구유착대관특점적신형석영MEMS가속도계민감원건.민감원건채용변간거식차분전용소치결구,기우석영미공예제작.채용유한원분석수단,대민감원건질량괴척촌、소치장도、량강도、지당여개판결구등삼수진행종합우화설계.방진결과현시,민감원건대관8.9Hz,지당여개판결구가이유효제승항과재급진동능력,설계가이만족비행기진동배경하소량정저빈가속도삼수측량수구.
