科技创新与应用
科技創新與應用
과기창신여응용
Technology Innovation and Application
2015年
22期
7-8
,共2页
赵晓萌%李秋实%陈晓丹%陈超英
趙曉萌%李鞦實%陳曉丹%陳超英
조효맹%리추실%진효단%진초영
超净光学表面%激光散射法%微尘检测%微弱信号检测
超淨光學錶麵%激光散射法%微塵檢測%微弱信號檢測
초정광학표면%격광산사법%미진검측%미약신호검측
文章针对超净光学表面污损较小、检测评价困难的问题，基于微尘对激光的散射理论，通过对低噪声光电前放设计、锁相放大电路设计等研制了超净光学表面微尘检测系统，实现了光学表面的高精度、高效率、低成本、无损检测，为光学表面损伤提供了检测和标定手段。实验表明，系统具有很好的稳定性、灵敏度和信噪比，能实现对直径5微米颗粒的精确测量。
文章針對超淨光學錶麵汙損較小、檢測評價睏難的問題，基于微塵對激光的散射理論，通過對低譟聲光電前放設計、鎖相放大電路設計等研製瞭超淨光學錶麵微塵檢測繫統，實現瞭光學錶麵的高精度、高效率、低成本、無損檢測，為光學錶麵損傷提供瞭檢測和標定手段。實驗錶明，繫統具有很好的穩定性、靈敏度和信譟比，能實現對直徑5微米顆粒的精確測量。
문장침대초정광학표면오손교소、검측평개곤난적문제，기우미진대격광적산사이론，통과대저조성광전전방설계、쇄상방대전로설계등연제료초정광학표면미진검측계통，실현료광학표면적고정도、고효솔、저성본、무손검측，위광학표면손상제공료검측화표정수단。실험표명，계통구유흔호적은정성、령민도화신조비，능실현대직경5미미과립적정학측량。
