激光与红外
激光與紅外
격광여홍외
LASER & INFRARED
2015年
6期
650-655
,共6页
吴亮亮%侯晓敏%王丛%王经纬%刘铭%周立庆
吳亮亮%侯曉敏%王叢%王經緯%劉銘%週立慶
오량량%후효민%왕총%왕경위%류명%주립경
碲锌镉%碲镉汞%分子束外延%表面状态%筛分
碲鋅鎘%碲鎘汞%分子束外延%錶麵狀態%篩分
제자력%제력홍%분자속외연%표면상태%사분
CdZnTe%HgCdTe%molecular beam epitaxy%surface condition%screening
碲锌镉 CdZnTe（211）B 衬底广泛应用于碲镉汞（HgCdTe）分子束外延生长，其性能参数在很大程度上决定了碲镉汞分子束外延材料的质量。主要讨论了 CdZnTe（211）B 衬底几个关键性能参数对碲镉汞外延材料的影响，包括 Zn 组分及均匀性、缺陷（位错、孪晶及晶界和碲沉淀）以及表面状态（粗糙度和化学组成），并且分析了对 CdZnTe（211）B 衬底进行筛分时各性能参数的评价方法和指标。
碲鋅鎘 CdZnTe（211）B 襯底廣汎應用于碲鎘汞（HgCdTe）分子束外延生長，其性能參數在很大程度上決定瞭碲鎘汞分子束外延材料的質量。主要討論瞭 CdZnTe（211）B 襯底幾箇關鍵性能參數對碲鎘汞外延材料的影響，包括 Zn 組分及均勻性、缺陷（位錯、孿晶及晶界和碲沉澱）以及錶麵狀態（粗糙度和化學組成），併且分析瞭對 CdZnTe（211）B 襯底進行篩分時各性能參數的評價方法和指標。
제자력 CdZnTe（211）B 츤저엄범응용우제력홍（HgCdTe）분자속외연생장，기성능삼수재흔대정도상결정료제력홍분자속외연재료적질량。주요토론료 CdZnTe（211）B 츤저궤개관건성능삼수대제력홍외연재료적영향，포괄 Zn 조분급균균성、결함（위착、련정급정계화제침정）이급표면상태（조조도화화학조성），병차분석료대 CdZnTe（211）B 츤저진행사분시각성능삼수적평개방법화지표。
CdZnTe(21 1 )B substrate is widely used for the growth of mercury cadmium telluride(HgCdTe)by molecu-lar beam epitaxy,and the quality of HgCdTe grown by MBE depend strongly on the performance of the substrates.The effect of several key parameters of CdZnTe(21 1 )B substrate on the HgCdTe epitaxial materials is discussed,including Zn composition and uniformity,defects(dislocation,grain boundary and Te precipitates)and surface condition(rough-ness and chemical composition).And the characterization methods and indexes of the parameters are analyzed when CdZnTe(21 1 )B substrates are screened.
