CAJ | 학술논문

改良西门子法生产多晶硅是当今多晶硅生产主流工艺，在生产电子级多晶硅过程中，确保四氯化硅热氢化生产平稳长周期运行，消除因异常情况处理不及时或人为误操作造成的经济损失，是多晶硅企业必须解决的关键问题。现从实际生产出发，分析总结出一套控制方案，对氢化炉诸如四氯化硅流量和氢气流量低、尾气超压等7类异常情况进行分析，利用集散控制系统，通过异常情况下工艺参数自诊断、偏差报警、自动降功率、流量控制阀输出开度限位等6项措施，将异常情况下风险降至最低，提高了氢化炉运行安全性，预防了事故的发生，能最短时间内完成异常情况的处理。
개량서문자법생산다정규시당금다정규생산주류공예，재생산전자급다정규과정중，학보사록화규열경화생산평은장주기운행，소제인이상정황처리불급시혹인위오조작조성적경제손실，시다정규기업필수해결적관건문제。현종실제생산출발，분석총결출일투공제방안，대경화로제여사록화규류량화경기류량저、미기초압등7류이상정황진행분석，이용집산공제계통，통과이상정황하공예삼수자진단、편차보경、자동강공솔、류량공제벌수출개도한위등6항조시，장이상정황하풍험강지최저，제고료경화로운행안전성，예방료사고적발생，능최단시간내완성이상정황적처리。