红外与毫米波学报
紅外與毫米波學報
홍외여호미파학보
JOURNAL OF INFRARED AND MILLIMETER WAVES
2015年
3期
291-296
,共6页
孙士文%隋淞印%何力%魏彦锋%周昌鹤%虞慧娴%徐超
孫士文%隋淞印%何力%魏彥鋒%週昌鶴%虞慧嫻%徐超
손사문%수송인%하력%위언봉%주창학%우혜한%서초
X射线衍射形貌术%X光貌相%腐蚀形貌%碲锌镉%晶体缺陷
X射線衍射形貌術%X光貌相%腐蝕形貌%碲鋅鎘%晶體缺陷
X사선연사형모술%X광모상%부식형모%제자력%정체결함
X-ray diffraction topography%X-ray topography%Etched surface morphology%CdZnTe%crystal defects
碲锌镉晶体中存在着各种典型晶体缺陷,其缺陷研究一直倍受关注,X射线衍射形貌术是一种非破坏性地研究晶体材料结构完整性、均匀性的有效方法.采用反射式X射线衍射形貌术对碲锌镉衬底的质量进行了研究,并将衬底的X射线衍射形貌与Everson腐蚀形貌进行了对比分析,碲锌镉衬底的X射线衍射形貌主要有六种特征类型,分别对应不同的晶体结构或缺陷,包括均匀结构、镶嵌结构、孪晶、小角晶界、夹杂、表面划伤,对上述特征类型进行了详细的分析.目前,衬底的X射线衍射形貌主要以均匀结构类型为主,划伤和镶嵌结构缺陷基本已消除,存在的晶体缺陷主要以小角晶界为主.通过对比分析碲锌镉衬底和液相外延碲镉汞薄膜的X射线衍射形貌,发现小角晶界等晶体结构缺陷会延伸到外延层上,碲锌镉衬底质量会直接影响碲镉汞外延层的质量,晶体结构完整的衬底是制备高质量碲镉汞外延材料的基础.
碲鋅鎘晶體中存在著各種典型晶體缺陷,其缺陷研究一直倍受關註,X射線衍射形貌術是一種非破壞性地研究晶體材料結構完整性、均勻性的有效方法.採用反射式X射線衍射形貌術對碲鋅鎘襯底的質量進行瞭研究,併將襯底的X射線衍射形貌與Everson腐蝕形貌進行瞭對比分析,碲鋅鎘襯底的X射線衍射形貌主要有六種特徵類型,分彆對應不同的晶體結構或缺陷,包括均勻結構、鑲嵌結構、孿晶、小角晶界、夾雜、錶麵劃傷,對上述特徵類型進行瞭詳細的分析.目前,襯底的X射線衍射形貌主要以均勻結構類型為主,劃傷和鑲嵌結構缺陷基本已消除,存在的晶體缺陷主要以小角晶界為主.通過對比分析碲鋅鎘襯底和液相外延碲鎘汞薄膜的X射線衍射形貌,髮現小角晶界等晶體結構缺陷會延伸到外延層上,碲鋅鎘襯底質量會直接影響碲鎘汞外延層的質量,晶體結構完整的襯底是製備高質量碲鎘汞外延材料的基礎.
제자력정체중존재착각충전형정체결함,기결함연구일직배수관주,X사선연사형모술시일충비파배성지연구정체재료결구완정성、균균성적유효방법.채용반사식X사선연사형모술대제자력츤저적질량진행료연구,병장츤저적X사선연사형모여Everson부식형모진행료대비분석,제자력츤저적X사선연사형모주요유륙충특정류형,분별대응불동적정체결구혹결함,포괄균균결구、양감결구、련정、소각정계、협잡、표면화상,대상술특정류형진행료상세적분석.목전,츤저적X사선연사형모주요이균균결구류형위주,화상화양감결구결함기본이소제,존재적정체결함주요이소각정계위주.통과대비분석제자력츤저화액상외연제력홍박막적X사선연사형모,발현소각정계등정체결구결함회연신도외연층상,제자력츤저질량회직접영향제력홍외연층적질량,정체결구완정적츤저시제비고질량제력홍외연재료적기출.
