红外与毫米波学报
紅外與毫米波學報
홍외여호미파학보
JOURNAL OF INFRARED AND MILLIMETER WAVES
2015年
3期
282-285
,共4页
贾嘉%刘诗嘉%刘向阳%孙艳%李向阳
賈嘉%劉詩嘉%劉嚮暘%孫豔%李嚮暘
가가%류시가%류향양%손염%리향양
碲镉汞%离子束刻蚀%深宽比
碲鎘汞%離子束刻蝕%深寬比
제력홍%리자속각식%심관비
HgCdTe%ion beam etching%aspect ratio
高深宽比离子束刻蚀技术是实现碲镉汞红外焦平面探测器的关键工艺技术.国内应用最广泛的双栅考夫曼刻蚀机束散角较大,沟槽深宽比较低.针对Ar离子束刻蚀机,尝试了三种提高深宽比的方法:选择不同的光刻胶做掩模、改变刻蚀角度和使用三栅离子源,并通过扫描电子显微镜(SEM)观察了碲镉汞刻蚀图形的剖面轮廓并计算了深宽比.分析了这些工艺方法对刻蚀图形轮廓的影响,获得了一些有助于获得高深宽比的离子束刻蚀沟槽的实验结果.
高深寬比離子束刻蝕技術是實現碲鎘汞紅外焦平麵探測器的關鍵工藝技術.國內應用最廣汎的雙柵攷伕曼刻蝕機束散角較大,溝槽深寬比較低.針對Ar離子束刻蝕機,嘗試瞭三種提高深寬比的方法:選擇不同的光刻膠做掩模、改變刻蝕角度和使用三柵離子源,併通過掃描電子顯微鏡(SEM)觀察瞭碲鎘汞刻蝕圖形的剖麵輪廓併計算瞭深寬比.分析瞭這些工藝方法對刻蝕圖形輪廓的影響,穫得瞭一些有助于穫得高深寬比的離子束刻蝕溝槽的實驗結果.
고심관비리자속각식기술시실현제력홍홍외초평면탐측기적관건공예기술.국내응용최엄범적쌍책고부만각식궤속산각교대,구조심관비교저.침대Ar리자속각식궤,상시료삼충제고심관비적방법:선택불동적광각효주엄모、개변각식각도화사용삼책리자원,병통과소묘전자현미경(SEM)관찰료제력홍각식도형적부면륜곽병계산료심관비.분석료저사공예방법대각식도형륜곽적영향,획득료일사유조우획득고심관비적리자속각식구조적실험결과.
