科技创新与应用
科技創新與應用
과기창신여응용
Technology Innovation and Application
2015年
16期
35-36
,共2页
反射率%Ag%SEM%AFM
反射率%Ag%SEM%AFM
반사솔%Ag%SEM%AFM
采用射频磁控溅射方法在石英片上生长不同厚度Ag薄膜,测试了Ag膜反射率变化随厚度的变化关系,利用AFM和SEM分别研究Ag膜厚度对其表面粗糙度和形貌的影响.结果表明:Ag厚度在130nm以下时,随着厚度的增加,透射率急剧下降,其反射率逐渐增加;当厚度超过130nm时,透射率不再变化,由于表面RMS的增加使得散射损耗增大,使得其反射率随着厚度增加而减小.
採用射頻磁控濺射方法在石英片上生長不同厚度Ag薄膜,測試瞭Ag膜反射率變化隨厚度的變化關繫,利用AFM和SEM分彆研究Ag膜厚度對其錶麵粗糙度和形貌的影響.結果錶明:Ag厚度在130nm以下時,隨著厚度的增加,透射率急劇下降,其反射率逐漸增加;噹厚度超過130nm時,透射率不再變化,由于錶麵RMS的增加使得散射損耗增大,使得其反射率隨著厚度增加而減小.
채용사빈자공천사방법재석영편상생장불동후도Ag박막,측시료Ag막반사솔변화수후도적변화관계,이용AFM화SEM분별연구Ag막후도대기표면조조도화형모적영향.결과표명:Ag후도재130nm이하시,수착후도적증가,투사솔급극하강,기반사솔축점증가;당후도초과130nm시,투사솔불재변화,유우표면RMS적증가사득산사손모증대,사득기반사솔수착후도증가이감소.
