城市建设理论研究（电子版）
城市建設理論研究（電子版）
성시건설이론연구（전자판）
ChengShi Jianshe LiLun Yan Jiu
2015年
14期
1573-1574
,共2页
基板厚度%测量系统%意义%架构分析
基闆厚度%測量繫統%意義%架構分析
기판후도%측량계통%의의%가구분석
本文中针对某系统采用高精度对径相对测量的原理,采用高精度的机械运动与测量数据采集与评价软件,并对测量的数据进行管理,进而对板材的质量进行统计,溯源等控制进行了分析.并针对精度高的测量要求,以此方案拟采用高精度非接触位移传感器,板材的两侧对径测量,通过数据处理,得到厚度与厚度的变化率以及基板厚度测量架构等内容进行了分析.
本文中針對某繫統採用高精度對徑相對測量的原理,採用高精度的機械運動與測量數據採集與評價軟件,併對測量的數據進行管理,進而對闆材的質量進行統計,溯源等控製進行瞭分析.併針對精度高的測量要求,以此方案擬採用高精度非接觸位移傳感器,闆材的兩側對徑測量,通過數據處理,得到厚度與厚度的變化率以及基闆厚度測量架構等內容進行瞭分析.
본문중침대모계통채용고정도대경상대측량적원리,채용고정도적궤계운동여측량수거채집여평개연건,병대측량적수거진행관리,진이대판재적질량진행통계,소원등공제진행료분석.병침대정도고적측량요구,이차방안의채용고정도비접촉위이전감기,판재적량측대경측량,통과수거처리,득도후도여후도적변화솔이급기판후도측량가구등내용진행료분석.
