湖南有色金属
湖南有色金屬
호남유색금속
HUNAN NONFERROUS METALS
2015年
3期
57-60
,共4页
ITO靶材%烧结温度%金相组织
ITO靶材%燒結溫度%金相組織
ITO파재%소결온도%금상조직
分析了不同烧结温度下ITO靶材的金相组织.结果表明:当烧结温度为1 500℃,靶材金相组织呈现烧结中期典型烧结颈组织;当烧结温度为1 530℃时,靶材组织是烧结中期与烧结后期过渡阶段的组织,晶界还未稳定,致密性差;当烧结温度为1 560℃和1 590℃时,靶材的组织稳定,致密性高,但是1 590℃烧结靶材晶粒偏大,晶界稳定性稍差;当烧结温度为1 620℃和1 650℃时,组织的晶界开始熔解,而且晶粒变得圆滑,尤其是在1 650℃烧结后,组织中晶粒是游离的近球形.通过SEM分析,验证了金相组织分析正确性,而且快捷,简便.
分析瞭不同燒結溫度下ITO靶材的金相組織.結果錶明:噹燒結溫度為1 500℃,靶材金相組織呈現燒結中期典型燒結頸組織;噹燒結溫度為1 530℃時,靶材組織是燒結中期與燒結後期過渡階段的組織,晶界還未穩定,緻密性差;噹燒結溫度為1 560℃和1 590℃時,靶材的組織穩定,緻密性高,但是1 590℃燒結靶材晶粒偏大,晶界穩定性稍差;噹燒結溫度為1 620℃和1 650℃時,組織的晶界開始鎔解,而且晶粒變得圓滑,尤其是在1 650℃燒結後,組織中晶粒是遊離的近毬形.通過SEM分析,驗證瞭金相組織分析正確性,而且快捷,簡便.
분석료불동소결온도하ITO파재적금상조직.결과표명:당소결온도위1 500℃,파재금상조직정현소결중기전형소결경조직;당소결온도위1 530℃시,파재조직시소결중기여소결후기과도계단적조직,정계환미은정,치밀성차;당소결온도위1 560℃화1 590℃시,파재적조직은정,치밀성고,단시1 590℃소결파재정립편대,정계은정성초차;당소결온도위1 620℃화1 650℃시,조직적정계개시용해,이차정립변득원활,우기시재1 650℃소결후,조직중정립시유리적근구형.통과SEM분석,험증료금상조직분석정학성,이차쾌첩,간편.
