电子测试
電子測試
전자측시
ELECTRONIC TEST
2015年
13期
83-84
,共2页
半导体%硅片%退火%检测工艺
半導體%硅片%退火%檢測工藝
반도체%규편%퇴화%검측공예
semiconductor%The wafer%Detection%technology
半导体硅片退火工艺对生产硅片具有十分重要的作用，为此，本文加强对硅片的退火技术检测，希望能够控制硅片技术质量。因为自然界当中并不存在单体硅，硅主要以氧化物或者是硅酸盐的形式出现，需要通过提纯与精炼的方式才能够形成硅片。这个过程中硅需要进行退火工艺处理，消除硅片中氧施主的影响，内部缺陷也在这个过程中减少。这个工艺流程是制造半导体硅片的重要环节。退火后的技术检测则是实现硅片生产的最后一个环节，是确保硅片质量的重要基础。本文侧重对半导体硅片退火检测工艺发展情况进行具体阐述。
半導體硅片退火工藝對生產硅片具有十分重要的作用，為此，本文加彊對硅片的退火技術檢測，希望能夠控製硅片技術質量。因為自然界噹中併不存在單體硅，硅主要以氧化物或者是硅痠鹽的形式齣現，需要通過提純與精煉的方式纔能夠形成硅片。這箇過程中硅需要進行退火工藝處理，消除硅片中氧施主的影響，內部缺陷也在這箇過程中減少。這箇工藝流程是製造半導體硅片的重要環節。退火後的技術檢測則是實現硅片生產的最後一箇環節，是確保硅片質量的重要基礎。本文側重對半導體硅片退火檢測工藝髮展情況進行具體闡述。
반도체규편퇴화공예대생산규편구유십분중요적작용，위차，본문가강대규편적퇴화기술검측，희망능구공제규편기술질량。인위자연계당중병불존재단체규，규주요이양화물혹자시규산염적형식출현，수요통과제순여정련적방식재능구형성규편。저개과정중규수요진행퇴화공예처리，소제규편중양시주적영향，내부결함야재저개과정중감소。저개공예류정시제조반도체규편적중요배절。퇴화후적기술검측칙시실현규편생산적최후일개배절，시학보규편질량적중요기출。본문측중대반도체규편퇴화검측공예발전정황진행구체천술。
Semiconductor wafers annealing process for the production of silicon plays an important role, therefore,to strengthen the annealing technology of silicon wafer testing,this paper hopes to be able to control quality of silicon technology.Because of nature does not exist monomer silicon,silicon mainly take the form of oxide or silicate,need silicon wafers are formed by means of purification and refining.The silicon needs to be in the process of annealing process,the surface to remove impurities,defects in the process also reduce.This process is an important link in manufacturing semiconductor wafers.After annealing technology test is the last link in silicon production,is the important foundation to ensure the quality of silicon wafers.This article focus on semiconductor wafers annealing detection technology development.
