电子测试
電子測試
전자측시
ELECTRONIC TEST
2015年
13期
32-33
,共2页
单晶硅%生产工艺%晶埚转
單晶硅%生產工藝%晶堝轉
단정규%생산공예%정과전
Monocrystalline silicon%The production process%Crystal pot turn
单晶硅属于当前技术应用当中十分重要的一种半导体材料，其应用在电子信息技术领域以及太阳能技术领域当中的程度不断提升。当前单晶硅材料应用程度提升，也进一步增强了单晶硅在质量上的要求。换言之，单晶硅的杂质要求更高，加强杂质去除或者控制单晶硅当中的杂质氧含量就显得十分重要。本文侧重研究晶埚转以及拉速对单晶硅生产过程的影响分析。
單晶硅屬于噹前技術應用噹中十分重要的一種半導體材料，其應用在電子信息技術領域以及太暘能技術領域噹中的程度不斷提升。噹前單晶硅材料應用程度提升，也進一步增彊瞭單晶硅在質量上的要求。換言之，單晶硅的雜質要求更高，加彊雜質去除或者控製單晶硅噹中的雜質氧含量就顯得十分重要。本文側重研究晶堝轉以及拉速對單晶硅生產過程的影響分析。
단정규속우당전기술응용당중십분중요적일충반도체재료，기응용재전자신식기술영역이급태양능기술영역당중적정도불단제승。당전단정규재료응용정도제승，야진일보증강료단정규재질량상적요구。환언지，단정규적잡질요구경고，가강잡질거제혹자공제단정규당중적잡질양함량취현득십분중요。본문측중연구정과전이급랍속대단정규생산과정적영향분석。
Monocrystalline silicon belongs to the current technology is very important of a semiconductor material,its application in the field of electronic information technology and increasing of solar technology.Current level ascension monocrystalline silicon material application, also further strengthened the monocrystalline silicon on quality requirements.In other words,the higher request of monocrystalline silicon impurity,strengthen impurity removal or control of monocrystalline silicon impurity oxygen content is very important.This paper research oriented silicon crucible turn and lazio influence on monocrystalline silicon production process analysis.
