电子测试
電子測試
전자측시
ELECTRONIC TEST
2015年
13期
28-29
,共2页
硅片%缺陷%自动检测
硅片%缺陷%自動檢測
규편%결함%자동검측
A silicon wafer%Automatic detection%defects
作为电池发电实际效率的重要影响因素，硅片质量具有重要作用。生产硅片的过程中需要综合考虑多种因素，这是因为硅片生产本身具有一定的缺陷。其中，多晶硅片经常性的缺陷主要是纯度不高以及位错缺陷。单晶硅片当中产生的缺陷主要是漩涡缺陷。出现硅片缺陷可能会造成电池片发电能力受到影响，并降低电池的使用寿命。为此，加强对半导体硅片的自动检测分类方法进行研究具有重要意义。
作為電池髮電實際效率的重要影響因素，硅片質量具有重要作用。生產硅片的過程中需要綜閤攷慮多種因素，這是因為硅片生產本身具有一定的缺陷。其中，多晶硅片經常性的缺陷主要是純度不高以及位錯缺陷。單晶硅片噹中產生的缺陷主要是漩渦缺陷。齣現硅片缺陷可能會造成電池片髮電能力受到影響，併降低電池的使用壽命。為此，加彊對半導體硅片的自動檢測分類方法進行研究具有重要意義。
작위전지발전실제효솔적중요영향인소，규편질량구유중요작용。생산규편적과정중수요종합고필다충인소，저시인위규편생산본신구유일정적결함。기중，다정규편경상성적결함주요시순도불고이급위착결함。단정규편당중산생적결함주요시선와결함。출현규편결함가능회조성전지편발전능력수도영향，병강저전지적사용수명。위차，가강대반도체규편적자동검측분류방법진행연구구유중요의의。
As one of the important influence factors of battery power actual efficiency silicon wafer quality plays an important role.Should be considered in the process of production of a variety of factors, this is because the silicon wafer production itself has some shortcomings.The polycrystalline silicon slice of regular defects are mainly purity is not high and dislocation defects.Swirl is mainly produced by defects of monocrystalline silicon slice.Silicon wafer defects may cause cell capacity is affected, and reduce the service life of the battery.Therefore,strengthens to the semiconductor wafer sure ah classification method of automatically detecting the study is of great significance.
