兰州理工大学学报
蘭州理工大學學報
란주리공대학학보
JOURNAL OF LANZHOU UNIVERSITY OF TECHNOLOGY
2015年
3期
32-35
,共4页
张建斌%吕从燕%于富成%王雷
張建斌%呂從燕%于富成%王雷
장건빈%려종연%우부성%왕뢰
溶胶-凝胶法%ZnO纳米薄膜%掺杂
溶膠-凝膠法%ZnO納米薄膜%摻雜
용효-응효법%ZnO납미박막%참잡
sol-gel method%ZnO nano-film%doping
采用溶胶-凝胶法在石英衬底上沉积Li-N共掺ZnO纳米薄膜,研究热处理温度和Li掺杂浓度对ZnO薄膜结构和光学性能的影响.结果表明:适度的Li掺杂,以及随着热处理温度的适度升高,会导致ZnO(002)峰的半峰宽减小,薄膜结晶质量明显改善,但过高浓度的掺杂或过高的热处理温度,则会诱发新的缺陷,导致结晶质量下降.另外Li掺杂引起ZnO薄膜的光学带隙发生变化,从而使样品在未掺杂时以紫光发光最强而掺杂后样品以紫外发光最强.
採用溶膠-凝膠法在石英襯底上沉積Li-N共摻ZnO納米薄膜,研究熱處理溫度和Li摻雜濃度對ZnO薄膜結構和光學性能的影響.結果錶明:適度的Li摻雜,以及隨著熱處理溫度的適度升高,會導緻ZnO(002)峰的半峰寬減小,薄膜結晶質量明顯改善,但過高濃度的摻雜或過高的熱處理溫度,則會誘髮新的缺陷,導緻結晶質量下降.另外Li摻雜引起ZnO薄膜的光學帶隙髮生變化,從而使樣品在未摻雜時以紫光髮光最彊而摻雜後樣品以紫外髮光最彊.
채용용효-응효법재석영츤저상침적Li-N공참ZnO납미박막,연구열처리온도화Li참잡농도대ZnO박막결구화광학성능적영향.결과표명:괄도적Li참잡,이급수착열처리온도적괄도승고,회도치ZnO(002)봉적반봉관감소,박막결정질량명현개선,단과고농도적참잡혹과고적열처리온도,칙회유발신적결함,도치결정질량하강.령외Li참잡인기ZnO박막적광학대극발생변화,종이사양품재미참잡시이자광발광최강이참잡후양품이자외발광최강.
