微处理机
微處理機
미처리궤
MICROPROCESSORS
2015年
3期
7-8,11
,共3页
老炼%可靠性筛选试验%静态电源电流%早期失效%加工工艺%可靠性
老煉%可靠性篩選試驗%靜態電源電流%早期失效%加工工藝%可靠性
노련%가고성사선시험%정태전원전류%조기실효%가공공예%가고성
Burn -in%Reliability screening test%Direct drain quiescent power current%Early failure%Processing technic%Reliability
为使用户得到更可靠的集成电路产品，老炼是目前最常用和最有效的一种可靠性筛选试验方法。介绍了集成电路老炼的意义和试验方法，通过研究正常 CMOS 器件和有工艺缺陷的 CMOS器件的静态电源电流随老炼时间的变化曲线，经在老炼过程中多次不同时间测试得出的实验数据，可以清楚地发现器件的早期失效情况。经过分析后可以很好地反馈到器件的生产加工过程中，为集成电路的设计、加工和生产提供良好的数据依据，使集成电路加工工艺不断改善和元器件品质不断改进。指出了老炼在集成电路生产过程中的指导作用，是提高集成电路可靠性的有效手段。
為使用戶得到更可靠的集成電路產品，老煉是目前最常用和最有效的一種可靠性篩選試驗方法。介紹瞭集成電路老煉的意義和試驗方法，通過研究正常 CMOS 器件和有工藝缺陷的 CMOS器件的靜態電源電流隨老煉時間的變化麯線，經在老煉過程中多次不同時間測試得齣的實驗數據，可以清楚地髮現器件的早期失效情況。經過分析後可以很好地反饋到器件的生產加工過程中，為集成電路的設計、加工和生產提供良好的數據依據，使集成電路加工工藝不斷改善和元器件品質不斷改進。指齣瞭老煉在集成電路生產過程中的指導作用，是提高集成電路可靠性的有效手段。
위사용호득도경가고적집성전로산품，노련시목전최상용화최유효적일충가고성사선시험방법。개소료집성전로노련적의의화시험방법，통과연구정상 CMOS 기건화유공예결함적 CMOS기건적정태전원전류수노련시간적변화곡선，경재노련과정중다차불동시간측시득출적실험수거，가이청초지발현기건적조기실효정황。경과분석후가이흔호지반궤도기건적생산가공과정중，위집성전로적설계、가공화생산제공량호적수거의거，사집성전로가공공예불단개선화원기건품질불단개진。지출료노련재집성전로생산과정중적지도작용，시제고집성전로가고성적유효수단。
In order to provide the reliable IC products for users,the burn -in is the most common and effective method of reliability screening test.The paper describes the meaning and methods of burn -in for integrated circuit.By studying the curve changing with the direct drain quiescent power current of the normal COMS devices and abnormal ones and the test data in different times during burn -in test,the early failure of the device can be clearly found.After analysis of the devices,it can be fed back to the production process to provide good data basis for the IC design,processing and production and improves the processing of the integrated circuit and the quality of components.The burn -in is presented to guide the IC production process and comes into an effective means to improve reliability of integrated circuit.
