制造技术与机床
製造技術與機床
제조기술여궤상
MANUFACTURING TECHNOLOGY & MACHINE TOOL
2015年
6期
67-69
,共3页
安春华%武文革%成云平%杜晓军
安春華%武文革%成雲平%杜曉軍
안춘화%무문혁%성운평%두효군
设计%制作%基底%电阻栅结构%测量
設計%製作%基底%電阻柵結構%測量
설계%제작%기저%전조책결구%측량
design%manufacture%base%resistive gate structure%measure
为了获得性能优良的切削力测量传感器,设计了两种结构的切削力测量用镍铬合金薄膜传感器.采用相同工艺分别制作了Ti6Al4V和45钢材料的基片,并对比分析了基片的表面质量.优选出钛合金作为基底,在其上制备了所设计的两种结构的薄膜传感器样品,测量了传感器敏感栅尺寸、薄膜电阻率、电阻栅薄膜厚度、传感器电阻值,分析了传感器电阻值的影响因素.
為瞭穫得性能優良的切削力測量傳感器,設計瞭兩種結構的切削力測量用鎳鉻閤金薄膜傳感器.採用相同工藝分彆製作瞭Ti6Al4V和45鋼材料的基片,併對比分析瞭基片的錶麵質量.優選齣鈦閤金作為基底,在其上製備瞭所設計的兩種結構的薄膜傳感器樣品,測量瞭傳感器敏感柵呎吋、薄膜電阻率、電阻柵薄膜厚度、傳感器電阻值,分析瞭傳感器電阻值的影響因素.
위료획득성능우량적절삭력측량전감기,설계료량충결구적절삭력측량용얼락합금박막전감기.채용상동공예분별제작료Ti6Al4V화45강재료적기편,병대비분석료기편적표면질량.우선출태합금작위기저,재기상제비료소설계적량충결구적박막전감기양품,측량료전감기민감책척촌、박막전조솔、전조책박막후도、전감기전조치,분석료전감기전조치적영향인소.
