实验室研究与探索
實驗室研究與探索
실험실연구여탐색
LAABORATORY REESEARCH AND EXPLORATION
2015年
5期
42-44
,共3页
蔡黎明%钟君%成贤锴%刘斌%于涌
蔡黎明%鐘君%成賢鍇%劉斌%于湧
채려명%종군%성현개%류빈%우용
气浮工作台%振动%闭式%动力学%仿真
氣浮工作檯%振動%閉式%動力學%倣真
기부공작태%진동%폐식%동역학%방진
stage with air bearings%vibration%closed%dynamic%simulation
为获得超精密工作台系统特性,针对双闭式气体静压导轨超精密工作台的振动特性展开研究.建立了工作台系统的动力学模型,推导了系统振动微分方程.通过实验得出了在实际工况中较为准确的线性弹簧刚度,用线性弹簧模拟气体静压腔,简化了系统动力学模型.最终根据系统振动微分方程建立仿真模型并进行了求解和分析,得到了仿真系统的固有频率和振型,并通过振动实验验证了仿真模型的准确度.气体静压系统的隔振效果在于高频范围,其模态特性符合超精密工作台系统的结构要求.
為穫得超精密工作檯繫統特性,針對雙閉式氣體靜壓導軌超精密工作檯的振動特性展開研究.建立瞭工作檯繫統的動力學模型,推導瞭繫統振動微分方程.通過實驗得齣瞭在實際工況中較為準確的線性彈簧剛度,用線性彈簧模擬氣體靜壓腔,簡化瞭繫統動力學模型.最終根據繫統振動微分方程建立倣真模型併進行瞭求解和分析,得到瞭倣真繫統的固有頻率和振型,併通過振動實驗驗證瞭倣真模型的準確度.氣體靜壓繫統的隔振效果在于高頻範圍,其模態特性符閤超精密工作檯繫統的結構要求.
위획득초정밀공작태계통특성,침대쌍폐식기체정압도궤초정밀공작태적진동특성전개연구.건립료공작태계통적동역학모형,추도료계통진동미분방정.통과실험득출료재실제공황중교위준학적선성탄황강도,용선성탄황모의기체정압강,간화료계통동역학모형.최종근거계통진동미분방정건립방진모형병진행료구해화분석,득도료방진계통적고유빈솔화진형,병통과진동실험험증료방진모형적준학도.기체정압계통적격진효과재우고빈범위,기모태특성부합초정밀공작태계통적결구요구.
