CAJ | 학술논문

尾气干法回收装置作为多晶硅生产的核心装置，负责多晶硅生产流程中尾气的分离回收。将高温尾气通过冷却方法，将物料分离。当R22换热器因为物料腐蚀、温度波动、应力拉裂等原因发生泄漏时，被换热的氯硅烷物料在差压的作用下，进入冷冻系统，先后污染冷冻机、泵、缓冲罐、换热器，以及整条管线，并且导致装置全线停车。本文讨论研究一种换热器泄露实时监测系统，利用真空发生器获取物料样本，通过氯化氢报警器检测是否物料进入R22冷冻系统，实时在线且连续检测换热器泄漏情况，解决了R22换热器泄露监测的问题。
미기간법회수장치작위다정규생산적핵심장치，부책다정규생산류정중미기적분리회수。장고온미기통과냉각방법，장물료분리。당R22환열기인위물료부식、온도파동、응력랍렬등원인발생설루시，피환열적록규완물료재차압적작용하，진입냉동계통，선후오염냉동궤、빙、완충관、환열기，이급정조관선，병차도치장치전선정차。본문토론연구일충환열기설로실시감측계통，이용진공발생기획취물료양본，통과록화경보경기검측시부물료진입R22냉동계통，실시재선차련속검측환열기설루정황，해결료R22환열기설로감측적문제。