东北农业大学学报
東北農業大學學報
동북농업대학학보
JOURNAL OF NORTHEAST AGRICULTURAL UNIVERSITY
2015年
6期
93-98
,共6页
磁控溅射%纳米铜薄膜%飞秒瞬态热反射技术%双温模型%热输运过程%电声耦合系数
磁控濺射%納米銅薄膜%飛秒瞬態熱反射技術%雙溫模型%熱輸運過程%電聲耦閤繫數
자공천사%납미동박막%비초순태열반사기술%쌍온모형%열수운과정%전성우합계수
magnetron sputtering%nano copper film%femtosecond transient reflection technique%Two-Temperature model%heat transmit%electron-phonon coupling coefficient
利用磁控溅射法制备厚度100 nm的铜薄膜,使用800 nm泵浦和400 nm探测瞬态反射技术,测量铜薄膜的时间分辨反射率,分析铜薄膜在飞秒激光作用下瞬态热输运过程.利用双温模型对铜薄膜热输运过程进行数值模拟,模拟结果显示电子和晶格体系温度变化过程,电声耦合系数为1.2x1016W·m-3K.变换参数进行模拟,分析薄膜厚度和电声耦合系数对非平衡热输运过程影响规律,为铜薄膜在集成电路中应用提供参考.
利用磁控濺射法製備厚度100 nm的銅薄膜,使用800 nm泵浦和400 nm探測瞬態反射技術,測量銅薄膜的時間分辨反射率,分析銅薄膜在飛秒激光作用下瞬態熱輸運過程.利用雙溫模型對銅薄膜熱輸運過程進行數值模擬,模擬結果顯示電子和晶格體繫溫度變化過程,電聲耦閤繫數為1.2x1016W·m-3K.變換參數進行模擬,分析薄膜厚度和電聲耦閤繫數對非平衡熱輸運過程影響規律,為銅薄膜在集成電路中應用提供參攷.
이용자공천사법제비후도100 nm적동박막,사용800 nm빙포화400 nm탐측순태반사기술,측량동박막적시간분변반사솔,분석동박막재비초격광작용하순태열수운과정.이용쌍온모형대동박막열수운과정진행수치모의,모의결과현시전자화정격체계온도변화과정,전성우합계수위1.2x1016W·m-3K.변환삼수진행모의,분석박막후도화전성우합계수대비평형열수운과정영향규률,위동박막재집성전로중응용제공삼고.
