上海第二工业大学学报
上海第二工業大學學報
상해제이공업대학학보
JOURNAL OF SHANGHAI SECOND POLYTECHNIC UNIVERSITY
2015年
2期
104-108
,共5页
吴俊星%刘卫丽%谢华清%宋志棠%朱月琴
吳俊星%劉衛麗%謝華清%宋誌棠%硃月琴
오준성%류위려%사화청%송지당%주월금
化学机械抛光%纳米氧化铝%表面改性
化學機械拋光%納米氧化鋁%錶麵改性
화학궤계포광%납미양화려%표면개성
介绍了氧化铝磨料在化学机械抛光中的应用,总结了氧化铝抛光液磨料制备方法.根据氧化铝抛光液在应用中存在的问题,着重阐述提高氧化铝抛光液分散性和稳定性的方法.在分析氧化铝抛光液应用的基础上,提出蓝宝石衬底抛光液将来的发展方向,希望为今后的氧化铝抛光液研究提供一些思路.
介紹瞭氧化鋁磨料在化學機械拋光中的應用,總結瞭氧化鋁拋光液磨料製備方法.根據氧化鋁拋光液在應用中存在的問題,著重闡述提高氧化鋁拋光液分散性和穩定性的方法.在分析氧化鋁拋光液應用的基礎上,提齣藍寶石襯底拋光液將來的髮展方嚮,希望為今後的氧化鋁拋光液研究提供一些思路.
개소료양화려마료재화학궤계포광중적응용,총결료양화려포광액마료제비방법.근거양화려포광액재응용중존재적문제,착중천술제고양화려포광액분산성화은정성적방법.재분석양화려포광액응용적기출상,제출람보석츤저포광액장래적발전방향,희망위금후적양화려포광액연구제공일사사로.