应用光学
應用光學
응용광학
JOURNAL OF APPLIED OPTICS
2015年
4期
590-595
,共6页
杨练根%刘丙康%王选择%翟中生
楊練根%劉丙康%王選擇%翟中生
양련근%류병강%왕선택%적중생
干涉测量%相位识别%椭圆拟合%Lagrange插值
榦涉測量%相位識彆%橢圓擬閤%Lagrange插值
간섭측량%상위식별%타원의합%Lagrange삽치
interference measurement%phase-recognization%ellipse fitting%Lagrange interpolation
针对开环相移驱动下的单色光干涉测量,提出一种满足四步法的高精度相位识别的方法.首先选取干涉场中存在适当相位差的两像素点,建立相移驱动单周期内两像素点灰度序列值之间的干涉方程组.运用椭圆拟合获取相应干涉方程组参数,然后通过反算序列相位确定逐点驱动步长或序列相位信息.结合序列相位信息,运用Lagrange抛物插值算法,设计计算满足四步法的4幅干涉图,并计算各像素点的初相位.最后,运用多波长算法计算表面形貌并进行误差分析.实验表明:计算得到的方波多刻线样板的Ra值为0.439 0μm,测量误差为0.23％,此方法降低了对测量条件的硬件与环境要求,满足表面形貌高精度测量的要求.
針對開環相移驅動下的單色光榦涉測量,提齣一種滿足四步法的高精度相位識彆的方法.首先選取榦涉場中存在適噹相位差的兩像素點,建立相移驅動單週期內兩像素點灰度序列值之間的榦涉方程組.運用橢圓擬閤穫取相應榦涉方程組參數,然後通過反算序列相位確定逐點驅動步長或序列相位信息.結閤序列相位信息,運用Lagrange拋物插值算法,設計計算滿足四步法的4幅榦涉圖,併計算各像素點的初相位.最後,運用多波長算法計算錶麵形貌併進行誤差分析.實驗錶明:計算得到的方波多刻線樣闆的Ra值為0.439 0μm,測量誤差為0.23％,此方法降低瞭對測量條件的硬件與環境要求,滿足錶麵形貌高精度測量的要求.
침대개배상이구동하적단색광간섭측량,제출일충만족사보법적고정도상위식별적방법.수선선취간섭장중존재괄당상위차적량상소점,건립상이구동단주기내량상소점회도서렬치지간적간섭방정조.운용타원의합획취상응간섭방정조삼수,연후통과반산서렬상위학정축점구동보장혹서렬상위신식.결합서렬상위신식,운용Lagrange포물삽치산법,설계계산만족사보법적4폭간섭도,병계산각상소점적초상위.최후,운용다파장산법계산표면형모병진행오차분석.실험표명:계산득도적방파다각선양판적Ra치위0.439 0μm,측량오차위0.23％,차방법강저료대측량조건적경건여배경요구,만족표면형모고정도측량적요구.
