国外电子测量技术
國外電子測量技術
국외전자측량기술
FOREIGN ELECTRONIC MEASUREMENT TECHNOLOGY
2015年
7期
62-65
,共4页
控制系统%DSP%边缘检测
控製繫統%DSP%邊緣檢測
공제계통%DSP%변연검측
control system%DSP%edge detection
国内半导体制造行业经过几十年的产品生产及技术升级，其产品已向微型化发展。与此同时，外观检测还保持着人工方式，这也受到了下游客户的越来越多的质疑及挑战。基于此，自动光学检测系统的引入就被提到了紧要的地位。该系统采用嵌入式微控器加彩色线阵 CCD 捕获产品原始图像，然后通过滤波、边缘检测等实现被测产品的在线检测、分析判断并通过巧妙的机构来实现不良品的自动剔除。经过实际生产检验，该系统图像捕获、处理及分析均准确可靠，并实现了10 pcs/s的产品图检测及剔除。
國內半導體製造行業經過幾十年的產品生產及技術升級，其產品已嚮微型化髮展。與此同時，外觀檢測還保持著人工方式，這也受到瞭下遊客戶的越來越多的質疑及挑戰。基于此，自動光學檢測繫統的引入就被提到瞭緊要的地位。該繫統採用嵌入式微控器加綵色線陣 CCD 捕穫產品原始圖像，然後通過濾波、邊緣檢測等實現被測產品的在線檢測、分析判斷併通過巧妙的機構來實現不良品的自動剔除。經過實際生產檢驗，該繫統圖像捕穫、處理及分析均準確可靠，併實現瞭10 pcs/s的產品圖檢測及剔除。
국내반도체제조행업경과궤십년적산품생산급기술승급，기산품이향미형화발전。여차동시，외관검측환보지착인공방식，저야수도료하유객호적월래월다적질의급도전。기우차，자동광학검측계통적인입취피제도료긴요적지위。해계통채용감입식미공기가채색선진 CCD 포획산품원시도상，연후통과려파、변연검측등실현피측산품적재선검측、분석판단병통과교묘적궤구래실현불량품적자동척제。경과실제생산검험，해계통도상포획、처리급분석균준학가고，병실현료10 pcs/s적산품도검측급척제。
After decades of production and technology upgrades,domestic semiconductor manufacturing is toward the miniaturization.Meanwhile,the visual inspection is still maintaining a manual way,which also has received more cus-tomer questions and challenges.Based on this,the introduction of an automatic optical inspection (AOI)system is refer-ring to critical positions.This system captures the pictures with an embedded microcontroller and color linearity CCD camera,and then products through filtering,edge detection to achieve the online detection,analyze and removing of de-fects.After production validated,the image capture,processing,and analysis of the system are accurate and reliable, and inspection/removing speed reach to 10pcs/sec.
