光学仪器
光學儀器
광학의기
OPTICAL INSTRUMENTS
2015年
3期
278-282
,共5页
脱文刚%洪瑞金%张大伟%陶春先
脫文剛%洪瑞金%張大偉%陶春先
탈문강%홍서금%장대위%도춘선
ZnO薄膜%热氧化%掺杂%可见光谱%微结构
ZnO薄膜%熱氧化%摻雜%可見光譜%微結構
ZnO박막%열양화%참잡%가견광보%미결구
ZnO thin film%thermal oxidation%dopants%visible spectrum%microstructure
采用真空电子束蒸发金属薄膜及后续热氧化技术在石英衬底上分别制备出了ZnO、Al∶ ZnO以及Sn∶ ZnO薄膜.通过X射线衍射仪(XRD),紫外-可见分光光度计和原子力显微镜(AFM)等分析仪器对比研究了Al、Sn掺杂对ZnO薄膜结晶质量、光学性质及表面形貌的影响.测试结果表明,Al、Sn掺杂可以使薄膜结晶质量得到提高,薄膜应力部分释放,薄膜表面的粗糙度也相应增加,掺杂对薄膜光学带隙的影响在一定程度取决于金属薄膜的氧化程度,氧化充分可以使光学带隙变宽,反之则变窄.
採用真空電子束蒸髮金屬薄膜及後續熱氧化技術在石英襯底上分彆製備齣瞭ZnO、Al∶ ZnO以及Sn∶ ZnO薄膜.通過X射線衍射儀(XRD),紫外-可見分光光度計和原子力顯微鏡(AFM)等分析儀器對比研究瞭Al、Sn摻雜對ZnO薄膜結晶質量、光學性質及錶麵形貌的影響.測試結果錶明,Al、Sn摻雜可以使薄膜結晶質量得到提高,薄膜應力部分釋放,薄膜錶麵的粗糙度也相應增加,摻雜對薄膜光學帶隙的影響在一定程度取決于金屬薄膜的氧化程度,氧化充分可以使光學帶隙變寬,反之則變窄.
채용진공전자속증발금속박막급후속열양화기술재석영츤저상분별제비출료ZnO、Al∶ ZnO이급Sn∶ ZnO박막.통과X사선연사의(XRD),자외-가견분광광도계화원자력현미경(AFM)등분석의기대비연구료Al、Sn참잡대ZnO박막결정질량、광학성질급표면형모적영향.측시결과표명,Al、Sn참잡가이사박막결정질량득도제고,박막응력부분석방,박막표면적조조도야상응증가,참잡대박막광학대극적영향재일정정도취결우금속박막적양화정도,양화충분가이사광학대극변관,반지칙변착.
