大科技
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대과기
Super Science
2015年
20期
178-179
,共2页
陈健%王健%谢瑞清%陈福恭
陳健%王健%謝瑞清%陳福恭
진건%왕건%사서청%진복공
表面疵病%抛光效率%氧化铈%环抛
錶麵疵病%拋光效率%氧化鈰%環拋
표면자병%포광효솔%양화시%배포
为满足强激光系统对光学元件表面疵病的高要求,提出了一种利用抛光效率来提高元件表面质量的新工艺,这种工艺基于现代光学环抛技术.在抛光胶和抛光液的质量水平难以大幅度提升的前提下,这种工艺以提高元件表面疵病去除效率来获得零损伤的光学元件,有助于提高元件批量化生产的合格率.
為滿足彊激光繫統對光學元件錶麵疵病的高要求,提齣瞭一種利用拋光效率來提高元件錶麵質量的新工藝,這種工藝基于現代光學環拋技術.在拋光膠和拋光液的質量水平難以大幅度提升的前提下,這種工藝以提高元件錶麵疵病去除效率來穫得零損傷的光學元件,有助于提高元件批量化生產的閤格率.
위만족강격광계통대광학원건표면자병적고요구,제출료일충이용포광효솔래제고원건표면질량적신공예,저충공예기우현대광학배포기술.재포광효화포광액적질량수평난이대폭도제승적전제하,저충공예이제고원건표면자병거제효솔래획득령손상적광학원건,유조우제고원건비양화생산적합격솔.
