现代应用物理
現代應用物理
현대응용물리
Modern Applie Physics
2015年
2期
131-137
,共7页
张啸%朱哲%陈玉博%段文九%曹洪帅
張嘯%硃哲%陳玉博%段文九%曹洪帥
장소%주철%진옥박%단문구%조홍수
非等轴失配应变%外加应力%外加温度%相图
非等軸失配應變%外加應力%外加溫度%相圖
비등축실배응변%외가응력%외가온도%상도
建立了非线性热力学模型,定性分析了外加应力和外加温度对外延生长在正交基底上的Pb(Zr1-xTix)O3(PZT)薄膜相变的影响.在外力场下,固定其中一个方向失配应变e1=0.005,模拟得到了不同组分的PZT薄膜的失配应变—外加应力的相图.研究发现,随着Ti组分的减少,出现了新相正交a1c相和四方相a1相,且新相区域也会随Ti组分的不同而变化.在外加拉应力下,c相是薄膜较易出现的相,而在外加压应力下薄膜易处于a1a2相.在不同温度场下,模拟非等轴失配应变的PZT薄膜得到不同组分的PZT薄膜的失配应变—外加温度相图.当组分x≤0.7时,相图中出现了正交a1c相,由于非等轴失配应变的存在,使得从顺电相向r相发生相变的过程中,多出了正交a1a2相;同时另一新的四方a1相也出现在沿失配应变正方向e2被拉伸的区域.随着Ti组分的增加,单斜r相的面积缩小且位置下移.之前存在的四相点也变为了三相点,而正交相a1 a2相则向相图的中心位置移动.模拟结果对研究外场下铁电薄膜微器件的性能变化具有一定的指导意义.
建立瞭非線性熱力學模型,定性分析瞭外加應力和外加溫度對外延生長在正交基底上的Pb(Zr1-xTix)O3(PZT)薄膜相變的影響.在外力場下,固定其中一箇方嚮失配應變e1=0.005,模擬得到瞭不同組分的PZT薄膜的失配應變—外加應力的相圖.研究髮現,隨著Ti組分的減少,齣現瞭新相正交a1c相和四方相a1相,且新相區域也會隨Ti組分的不同而變化.在外加拉應力下,c相是薄膜較易齣現的相,而在外加壓應力下薄膜易處于a1a2相.在不同溫度場下,模擬非等軸失配應變的PZT薄膜得到不同組分的PZT薄膜的失配應變—外加溫度相圖.噹組分x≤0.7時,相圖中齣現瞭正交a1c相,由于非等軸失配應變的存在,使得從順電相嚮r相髮生相變的過程中,多齣瞭正交a1a2相;同時另一新的四方a1相也齣現在沿失配應變正方嚮e2被拉伸的區域.隨著Ti組分的增加,單斜r相的麵積縮小且位置下移.之前存在的四相點也變為瞭三相點,而正交相a1 a2相則嚮相圖的中心位置移動.模擬結果對研究外場下鐵電薄膜微器件的性能變化具有一定的指導意義.
건립료비선성열역학모형,정성분석료외가응력화외가온도대외연생장재정교기저상적Pb(Zr1-xTix)O3(PZT)박막상변적영향.재외력장하,고정기중일개방향실배응변e1=0.005,모의득도료불동조분적PZT박막적실배응변—외가응력적상도.연구발현,수착Ti조분적감소,출현료신상정교a1c상화사방상a1상,차신상구역야회수Ti조분적불동이변화.재외가랍응력하,c상시박막교역출현적상,이재외가압응력하박막역처우a1a2상.재불동온도장하,모의비등축실배응변적PZT박막득도불동조분적PZT박막적실배응변—외가온도상도.당조분x≤0.7시,상도중출현료정교a1c상,유우비등축실배응변적존재,사득종순전상향r상발생상변적과정중,다출료정교a1a2상;동시령일신적사방a1상야출현재연실배응변정방향e2피랍신적구역.수착Ti조분적증가,단사r상적면적축소차위치하이.지전존재적사상점야변위료삼상점,이정교상a1 a2상칙향상도적중심위치이동.모의결과대연구외장하철전박막미기건적성능변화구유일정적지도의의.
