厦门大学学报（自然科学版）
廈門大學學報（自然科學版）
하문대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF XIAMEN UNIVERSITY (NATURAL SCIENCE)
2015年
4期
581-585
,共5页
王詹帅%杨炜%杨平%张东旭
王詹帥%楊煒%楊平%張東旭
왕첨수%양위%양평%장동욱
大口径光学元件%精密检测平台%空间误差%测量
大口徑光學元件%精密檢測平檯%空間誤差%測量
대구경광학원건%정밀검측평태%공간오차%측량
large-size optical element%precision measuring platform%volumetric error%measure
针对大口径光学元件精密检测平台空间误差难以直接测量的问题,提出了一种空间误差计算方法.首先,将空间误差分解为平面内两轴联动误差和该平面沿第三轴运动所引起的误差;其次,利用上述两项误差,基于多项式拟合和平面几何相关理论,求解出空间误差值;运用球杆仪、激光干涉仪等设备对于模型中所涉及的多项几何误差进行测量,计算得到检测平台的空间误差值为-5.22～5.80 μm;为验证本方法的正确性,以泰勒霍普森的Form Talysurf PGI 1240轮廓仪的校准半球为基准进行测量,测量结果为半球半径的误差值为-5.02～5.37 μm,与计算得到的空间误差结果一致,证明了该方法的正确性和有效性.
針對大口徑光學元件精密檢測平檯空間誤差難以直接測量的問題,提齣瞭一種空間誤差計算方法.首先,將空間誤差分解為平麵內兩軸聯動誤差和該平麵沿第三軸運動所引起的誤差;其次,利用上述兩項誤差,基于多項式擬閤和平麵幾何相關理論,求解齣空間誤差值;運用毬桿儀、激光榦涉儀等設備對于模型中所涉及的多項幾何誤差進行測量,計算得到檢測平檯的空間誤差值為-5.22～5.80 μm;為驗證本方法的正確性,以泰勒霍普森的Form Talysurf PGI 1240輪廓儀的校準半毬為基準進行測量,測量結果為半毬半徑的誤差值為-5.02～5.37 μm,與計算得到的空間誤差結果一緻,證明瞭該方法的正確性和有效性.
침대대구경광학원건정밀검측평태공간오차난이직접측량적문제,제출료일충공간오차계산방법.수선,장공간오차분해위평면내량축련동오차화해평면연제삼축운동소인기적오차;기차,이용상술량항오차,기우다항식의합화평면궤하상관이론,구해출공간오차치;운용구간의、격광간섭의등설비대우모형중소섭급적다항궤하오차진행측량,계산득도검측평태적공간오차치위-5.22～5.80 μm;위험증본방법적정학성,이태륵곽보삼적Form Talysurf PGI 1240륜곽의적교준반구위기준진행측량,측량결과위반구반경적오차치위-5.02～5.37 μm,여계산득도적공간오차결과일치,증명료해방법적정학성화유효성.
