仪表技术与传感器
儀錶技術與傳感器
의표기술여전감기
INSTRUMENT TECHNIQUE AND SENSOR
2015年
8期
16-18,22
,共4页
阴雨晴%邓芳明%郝勇
陰雨晴%鄧芳明%郝勇
음우청%산방명%학용
压力传感器%接口电路%CMOS 工艺%低功耗设计
壓力傳感器%接口電路%CMOS 工藝%低功耗設計
압력전감기%접구전로%CMOS 공예%저공모설계
pressure sensor%interface circuit%CMOS technology%low power design
采用0.18μm CMOS工艺设计并制造了一种集成压力传感器。压力传感器单元由可移动上电极、介质膜及固定下电极组成，并由牺牲的金属层获得空气间隙。集成接口电路采用反相器替代传统开关电容放大器中的运算放大器，有效降低了电源电压，极大的降低了整体功耗。后期测试结果显示，所设计的集成压力传感器线性度高，温度稳定性好，在1.0 V电源电压下获得11.5 bits有效位数，仅消耗8.9μW功率。
採用0.18μm CMOS工藝設計併製造瞭一種集成壓力傳感器。壓力傳感器單元由可移動上電極、介質膜及固定下電極組成，併由犧牲的金屬層穫得空氣間隙。集成接口電路採用反相器替代傳統開關電容放大器中的運算放大器，有效降低瞭電源電壓，極大的降低瞭整體功耗。後期測試結果顯示，所設計的集成壓力傳感器線性度高，溫度穩定性好，在1.0 V電源電壓下穫得11.5 bits有效位數，僅消耗8.9μW功率。
채용0.18μm CMOS공예설계병제조료일충집성압력전감기。압력전감기단원유가이동상전겁、개질막급고정하전겁조성，병유희생적금속층획득공기간극。집성접구전로채용반상기체대전통개관전용방대기중적운산방대기，유효강저료전원전압，겁대적강저료정체공모。후기측시결과현시，소설계적집성압력전감기선성도고，온도은정성호，재1.0 V전원전압하획득11.5 bits유효위수，부소모8.9μW공솔。
Abstratc:An integrated capacitive pressure sensor based on 0.18μm CMOS technology was manufactured.The pressure sen-sor part consists of a movable top-electrode,a medium membrane and a fixed bottom-electrode.The air gap of the membrane was fabricated by sacrificing the metal layer T.he integrated interface replaces the operational amplifier in conventional designs by the inverter,resulting in lowing supply voltage and power dissipation.The measurement results show the proposed pressure sensor a-chieves 11.5bits ENOB under power supply voltages of 1.0 V and consumes 8.9μW power with excellent linearity and tempera-ture stability.
