中国新技术新产品
中國新技術新產品
중국신기술신산품
CHINA NEW TECHNOLOGIES AND PRODUCTS
2015年
17期
51-52
,共2页
倒角边缘磨削%晶圆尺寸%吸盘转速%甩干%磨削效率
倒角邊緣磨削%晶圓呎吋%吸盤轉速%甩榦%磨削效率
도각변연마삭%정원척촌%흡반전속%솔간%마삭효솔
本文通过分析倒角边缘磨削原理,利用不同尺寸的晶圆,不同的倒角吸盘转速,不同甩干程序对晶片进行倒角程序加工并统计其加工时间,进而分析不同加工条件对倒角边缘磨削加工效率的影响,从而进行最大的改善、优化和提升.
本文通過分析倒角邊緣磨削原理,利用不同呎吋的晶圓,不同的倒角吸盤轉速,不同甩榦程序對晶片進行倒角程序加工併統計其加工時間,進而分析不同加工條件對倒角邊緣磨削加工效率的影響,從而進行最大的改善、優化和提升.
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