光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2015年
7期
1990-1995
,共6页
姜劭栋%苏岩%裘安萍%施芹
薑劭棟%囌巖%裘安萍%施芹
강소동%소암%구안평%시근
硅微机械陀螺%品质因数%温度特性%热弹性阻尼%高真空
硅微機械陀螺%品質因數%溫度特性%熱彈性阻尼%高真空
규미궤계타라%품질인수%온도특성%열탄성조니%고진공
silicon micromachined gyroscope%quality factor%temperature characteristic%thermoelastic damping%high vacuum
分析了温度在高真空环境下对硅微机械陀螺品质因数的影响机理.阐述了热弹性阻尼的复频率模型和硅材料的温度特性,建立了品质因数温度特性理论模型,并对理论模型进行了仿真验证和实验验证.理论计算得到常温下品质因数的温度系数为-9.76×10-3/℃.利用ANSYS对品质因数的温度系数进行仿真分析,得到常温下品质因数温度系数的仿真值为-9.96×10-3/℃.对硅微机械陀螺进行品质因数温度实验,得到常温下品质因数的温度系数为-9.02×10-3/℃,与理论计算结果相差8.20％.实验结果表明:高真空环境下建立陀螺品质因数温度特性的理论模型可为陀螺的温度误差补偿提供理论依据,为陀螺的优化设计提供实际指导.
分析瞭溫度在高真空環境下對硅微機械陀螺品質因數的影響機理.闡述瞭熱彈性阻尼的複頻率模型和硅材料的溫度特性,建立瞭品質因數溫度特性理論模型,併對理論模型進行瞭倣真驗證和實驗驗證.理論計算得到常溫下品質因數的溫度繫數為-9.76×10-3/℃.利用ANSYS對品質因數的溫度繫數進行倣真分析,得到常溫下品質因數溫度繫數的倣真值為-9.96×10-3/℃.對硅微機械陀螺進行品質因數溫度實驗,得到常溫下品質因數的溫度繫數為-9.02×10-3/℃,與理論計算結果相差8.20％.實驗結果錶明:高真空環境下建立陀螺品質因數溫度特性的理論模型可為陀螺的溫度誤差補償提供理論依據,為陀螺的優化設計提供實際指導.
분석료온도재고진공배경하대규미궤계타라품질인수적영향궤리.천술료열탄성조니적복빈솔모형화규재료적온도특성,건립료품질인수온도특성이론모형,병대이론모형진행료방진험증화실험험증.이론계산득도상온하품질인수적온도계수위-9.76×10-3/℃.이용ANSYS대품질인수적온도계수진행방진분석,득도상온하품질인수온도계수적방진치위-9.96×10-3/℃.대규미궤계타라진행품질인수온도실험,득도상온하품질인수적온도계수위-9.02×10-3/℃,여이론계산결과상차8.20％.실험결과표명:고진공배경하건립타라품질인수온도특성적이론모형가위타라적온도오차보상제공이론의거,위타라적우화설계제공실제지도.
