光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2015年
7期
1978-1983
,共6页
吴娜%谭鑫%于海利%张方程
吳娜%譚鑫%于海利%張方程
오나%담흠%우해리%장방정
全息光栅%宽波段光栅%离子束刻蚀%刻蚀模拟
全息光柵%寬波段光柵%離子束刻蝕%刻蝕模擬
전식광책%관파단광책%리자속각식%각식모의
holographic grating%broadband grating%ion beam etching%etching simulation
设计和制作了一种在同一基底上具有多闪耀角的宽波段全息-离子束刻蚀光栅.提出了组合形成宽波段全息-离子束刻蚀光栅的分区设计方法,优化了3种闪耀角混合的宽波段全息光栅设计参数,并利用反应离子束刻蚀装置对该光刻胶掩模进行刻蚀图形转移,采用分段、分步离子束刻蚀技术开展了获得不同闪耀角的离子束刻蚀实验.最后在同一光栅基底上分区制作了位相相同,并具有9,18,29°3个不同闪耀角,口径为60 mm×60 mm,使用波段为200～900 nm的宽波段全息光栅.衍射效率测试结果显示其在使用波段的最低衍射效率超过30％,最高衍射效率超过50％,实验结果与理论计算结果基本符合.与其它方式制作的宽波段光栅相比,采用宽波段全息离子束刻蚀光栅不但工艺成熟,易于控制光栅槽形,而且光栅有效面积尺寸较大,便于批量复制.
設計和製作瞭一種在同一基底上具有多閃耀角的寬波段全息-離子束刻蝕光柵.提齣瞭組閤形成寬波段全息-離子束刻蝕光柵的分區設計方法,優化瞭3種閃耀角混閤的寬波段全息光柵設計參數,併利用反應離子束刻蝕裝置對該光刻膠掩模進行刻蝕圖形轉移,採用分段、分步離子束刻蝕技術開展瞭穫得不同閃耀角的離子束刻蝕實驗.最後在同一光柵基底上分區製作瞭位相相同,併具有9,18,29°3箇不同閃耀角,口徑為60 mm×60 mm,使用波段為200～900 nm的寬波段全息光柵.衍射效率測試結果顯示其在使用波段的最低衍射效率超過30％,最高衍射效率超過50％,實驗結果與理論計算結果基本符閤.與其它方式製作的寬波段光柵相比,採用寬波段全息離子束刻蝕光柵不但工藝成熟,易于控製光柵槽形,而且光柵有效麵積呎吋較大,便于批量複製.
설계화제작료일충재동일기저상구유다섬요각적관파단전식-리자속각식광책.제출료조합형성관파단전식-리자속각식광책적분구설계방법,우화료3충섬요각혼합적관파단전식광책설계삼수,병이용반응리자속각식장치대해광각효엄모진행각식도형전이,채용분단、분보리자속각식기술개전료획득불동섬요각적리자속각식실험.최후재동일광책기저상분구제작료위상상동,병구유9,18,29°3개불동섬요각,구경위60 mm×60 mm,사용파단위200～900 nm적관파단전식광책.연사효솔측시결과현시기재사용파단적최저연사효솔초과30％,최고연사효솔초과50％,실험결과여이론계산결과기본부합.여기타방식제작적관파단광책상비,채용관파단전식리자속각식광책불단공예성숙,역우공제광책조형,이차광책유효면적척촌교대,편우비량복제.
