光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2015年
7期
2005-2012
,共8页
光机系统%反射镜%三点支撑%表面面形%胶层%有限元模型
光機繫統%反射鏡%三點支撐%錶麵麵形%膠層%有限元模型
광궤계통%반사경%삼점지탱%표면면형%효층%유한원모형
opto-mechanical system%mirror%three-point mount%surface deformation%adhesive%Finite Element Model(FEM)
以45 nm浸没式光刻物镜中采用的三点支撑反射镜为研究对象,建立了胶层连接的三点边缘支撑结构模型,用以确定胶层厚度对三点支撑反射镜面形变化的影响.分析了重力作用下三点支撑反射镜的面形变化情况,通过解析表达式描述了胶层厚度对反射镜受力变形的影响.建立了“支撑块-胶层-反射镜”的有限元计算模型,针对不同胶层厚度对反射镜的面形变化进行了仿真分析.仿真结果表明:随着胶层厚度的增大,反射镜的面形变化(均方根值RMS)呈现先减小后增大的趋势;当胶层厚度为280 μm时,反射镜面形变化的RMS值最小,约为1.25 nm.最后,通过实验测量了柔性双脚架三点边缘支撑导致的反射镜面形变化.结果显示:当胶层厚度为200,280,400 μm时,反射镜面形的变化结果均与仿真结果一致,验证了本文仿真结果的正确性.
以45 nm浸沒式光刻物鏡中採用的三點支撐反射鏡為研究對象,建立瞭膠層連接的三點邊緣支撐結構模型,用以確定膠層厚度對三點支撐反射鏡麵形變化的影響.分析瞭重力作用下三點支撐反射鏡的麵形變化情況,通過解析錶達式描述瞭膠層厚度對反射鏡受力變形的影響.建立瞭“支撐塊-膠層-反射鏡”的有限元計算模型,針對不同膠層厚度對反射鏡的麵形變化進行瞭倣真分析.倣真結果錶明:隨著膠層厚度的增大,反射鏡的麵形變化(均方根值RMS)呈現先減小後增大的趨勢;噹膠層厚度為280 μm時,反射鏡麵形變化的RMS值最小,約為1.25 nm.最後,通過實驗測量瞭柔性雙腳架三點邊緣支撐導緻的反射鏡麵形變化.結果顯示:噹膠層厚度為200,280,400 μm時,反射鏡麵形的變化結果均與倣真結果一緻,驗證瞭本文倣真結果的正確性.
이45 nm침몰식광각물경중채용적삼점지탱반사경위연구대상,건립료효층련접적삼점변연지탱결구모형,용이학정효층후도대삼점지탱반사경면형변화적영향.분석료중력작용하삼점지탱반사경적면형변화정황,통과해석표체식묘술료효층후도대반사경수력변형적영향.건립료“지탱괴-효층-반사경”적유한원계산모형,침대불동효층후도대반사경적면형변화진행료방진분석.방진결과표명:수착효층후도적증대,반사경적면형변화(균방근치RMS)정현선감소후증대적추세;당효층후도위280 μm시,반사경면형변화적RMS치최소,약위1.25 nm.최후,통과실험측량료유성쌍각가삼점변연지탱도치적반사경면형변화.결과현시:당효층후도위200,280,400 μm시,반사경면형적변화결과균여방진결과일치,험증료본문방진결과적정학성.
